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當(dāng)前位置:北京精科智創(chuàng)科技發(fā)展有限公司>>產(chǎn)品展示>>材料制樣設(shè)備>>快速退火爐
HTR-4立式4寸快速退火爐(芯片熱處理設(shè)備)廣泛應(yīng)用在IC晶圓、LED晶圓、MEMS、化合物半導(dǎo)體和功率器件等多種芯片產(chǎn)品的生產(chǎn),和歐姆接觸快速合金、離子注入...
HTR-01桌式4英寸快速退火爐系列采用紅外輻射加熱技術(shù),可實(shí)現(xiàn)1-10片樣品同時進(jìn)行,可實(shí)現(xiàn)4寸晶圓片吋樣品快速升溫和降溫,同時搭配超高精度溫度控制系統(tǒng),可達(dá)...
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