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勻膠機 用于光刻工藝中的旋轉(zhuǎn)涂膠后的軟烘

閱讀:128發(fā)布時間:2017-12-5

勻膠機  型號:MHY-26231
產(chǎn)品概述:
烤膠機  hot plate  又名烘膠臺,烤膠機,熱板,熱臺。MHY-26231烤膠機,主要用于光刻工藝中的旋轉(zhuǎn)涂膠后的軟烘,曝光后烘烤,顯影后的堅膜,磨片粘片熔蠟。
 
MHY-26231型烤膠機,產(chǎn)品體積小,重量輕,升溫快,節(jié)能。
能滿足各種用戶的樣品處理實驗。
與傳統(tǒng)的烘箱相比,利用烤膠機固化膜層的優(yōu)勢有:
(1)烘烤時間減少;
(2)重復(fù)性高;
(3)對薄膜的固化效果好。
 
MHY-26231烤膠機整個面板溫度均勻,對基片膜層固化效果非常好。由于固化是從下往上,所以不會產(chǎn)生皮膚效應(yīng)。這種“由里而外”的固化方式尤其適合較厚的膜層,因為靠近基片的膜層會首先固化好,然后是膜層靠外的部分。該款烤膠機由于升溫迅速,所以產(chǎn)量較高。烘烤時間用秒計算,而不是像傳統(tǒng)烘箱用分鐘或者小時計算。
 
主要特點:
外形小巧,330mm*230mm*115mm
加熱盤尺寸 :Φ185mm
加熱板均一性好。
升溫快,能滿足室溫----200℃。
控制溫度。能控制小數(shù)點后的細微溫度差異,如 113.4 ℃   溫差 ±0.1℃
烘膠采用溫控儀PID調(diào)節(jié),具有烘膠速度快、均勻、控溫精度高等特點, 并可長時間連續(xù)穩(wěn)定工作.
高校學(xué)生操作簡便,能獨立完成。
 
技術(shù)參數(shù):
輸出功率: 1500 W 
輸入電壓: 220V   50HZ
溫度控制強: 能控制小數(shù)點后的細微溫度差異,如 115.5 ℃   溫差 ±0.1℃
溫度控制范圍:能滿足室溫----200℃。
外殼材質(zhì):不銹鋼。
防腐蝕性能:良好。
加熱區(qū)域尺寸:Φ185mm
 

 


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