質(zhì)量流量控制器 型號(hào)；MHY-22516
MHY-22516型 質(zhì)量流量控制器
儀器簡(jiǎn)介：
質(zhì)量流量控制器（MFC）用于對(duì)氣體的質(zhì)量流量進(jìn)行精密地測(cè)量和控制。廣泛用于電子工藝設(shè)備、真空鍍膜、 石油化工、冶金、制藥、光纖熔煉、分析測(cè)量?jī)x器、制氣配氣等行業(yè)。
技術(shù)參數(shù)：
滿量程流量范圍（N2）
5SCCM～10SLM
控制范圍
2～100％F.S.
閥類(lèi)型（及閥初始狀態(tài)）
電磁調(diào)節(jié)閥（常閉）
準(zhǔn)確度
±1.5％F.S.
線性
±0.5～1.5％F.S.
重復(fù)精度
±0.2％F.S.
響應(yīng)時(shí)間
≤7sec
工作溫度范圍
5～45℃
工作壓差
0.1～0.5MPa
耐壓
3MPa
漏氣率
1×10-8atm.cc/sec He
密封材料
氟橡膠（或氯丁橡膠）
電插頭形式
DB15 pin（Female）
接頭選擇
VCR 1/4”或φ4hose、φ6hose
Swagelok 1/4”或φ6、φ3
重量
1.1Kg
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