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隨著社會(huì)逐漸發(fā)展,從產(chǎn)品安全考慮,一般選擇使工作壓力值在標(biāo)準(zhǔn)量程值的60%-80%為宜,整個(gè)測(cè)量系統(tǒng)中可能出現(xiàn)的異常情況所導(dǎo)致的過(guò)載壓力不得超過(guò)產(chǎn)品允許的大過(guò)載。下面為大家介紹一下。
1、 靈敏度高
擴(kuò)散硅敏感電阻的靈敏因子比金屬應(yīng)變片高50~80倍,它的滿(mǎn)量程信號(hào)輸出在80-100mv左右。對(duì)接囗電路適配性好,應(yīng)用成本相應(yīng)較低。由于它輸入激勵(lì)電壓低,輸出信號(hào)大,且無(wú)機(jī)械動(dòng)件損耗,因而分辯率*。
2、 可靠性高
擴(kuò)散硅敏感膜片的彈性形變量在微應(yīng)變數(shù)量級(jí),膜片大位移量在來(lái)微米數(shù)量級(jí),且無(wú)機(jī)械磨損,無(wú)疲勞,無(wú)老化。平均*時(shí)間長(zhǎng),性能穩(wěn)定,可靠性高。
3、 精度高
擴(kuò)散硅電磁流量計(jì)、敏感轉(zhuǎn)換和檢測(cè)三位一體,無(wú)機(jī)械動(dòng)件連接轉(zhuǎn)換環(huán)節(jié),所以不重復(fù)性和遲滯誤差很小。由于硅材料的剛性好萊塢,形變小,因而傳感器的線(xiàn)性也非常好。因此綜合表態(tài)精度很高。
綜上所述,其利用壓阻效應(yīng)原理,采用集成工藝技術(shù)經(jīng)過(guò)摻雜、擴(kuò)散,沿單晶硅片上的特點(diǎn)晶向,制成應(yīng)變電阻,構(gòu)成惠斯凳電橋,利用硅材料的彈性力學(xué)特性,在同一切硅材料上進(jìn)行各向異性微加工,就制成了一個(gè)集力敏與力電轉(zhuǎn)換檢測(cè)于一體的擴(kuò)散硅傳感器。
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