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1. MCV-5003激光多普勒干涉儀 MCV-5002激光多普勒干涉儀加上RT-100A自動測量轉(zhuǎn)臺而組成MCV-5003激光多普勒干涉儀。 2. MCV-5003主要測量功能 1) 直線位移測量 2) 大型龍門式機(jī)床主動軸從動軸直線位移同步測量功能 3) 分軸步進(jìn)對角線測量。 4)角偏測量 5)直線度測量 6)第四軸、第五軸回轉(zhuǎn)精度測量 7)兩導(dǎo)軌平行度測量

功能選型：激光多普勒干涉儀
MCV-5003激光多普勒干涉儀的“雙激光頭分體設(shè)計(jì)"，專為大型五軸聯(lián)動機(jī)床開發(fā)。針對性解決雙驅(qū)動類、長行程類、五軸聯(lián)動類檢測。涵蓋全部激光干涉儀功能，是大型機(jī)床研發(fā)制造和大型機(jī)構(gòu)科研計(jì)量的。適合數(shù)控加工，數(shù)控車床、線切割、精密運(yùn)動平臺、大型龍門機(jī)床。

MCV-5003基本技術(shù)參數(shù)	激光頻率穩(wěn)定性		±0.05ppm
	氦氖激光管		2級
	激光輸出功率		＜1mW
	激光管壽命		40000小時(shí)
	空氣溫度傳感器精度		±0.1 ℃
	空氣壓力傳感器精度		±1.1mmHg
	材料溫度傳感器精度		±0.1 ℃
	環(huán)境溫度（濕度）		5-38 ℃（0-95％）
	電源電壓（電源頻率）		90-265V（50-60Hz）
線性位移測量	測量距離		≥30m（60m,100m可選）
	分辨率		1nm
	精度		±0.5ppm
	速度		5m /秒
主從動軸同步性檢測	數(shù)據(jù)采樣速率		1-1000個(gè)數(shù)/秒
角偏(俯仰角、偏擺角)	測量距離		≥30m（60m,100m可選）
	分辨率		0.2秒
	精度		±0.2%±0.2 秒
	測量范圍		角度：±10 度
	速度		4m /秒
直線度測量	測量距離		≥30m（60m,100m可選）
	精度		±0.2%±0.01 微米
	測量范圍		±1000 微米
	速度		4m /秒
向量法體對角線檢測	分辨率		1nm
	精度		±0.5ppm
	測量范圍		3m×2m×1m
	速度		4m /秒
	可檢測出機(jī)床3個(gè)定位精度、6個(gè)直線度、3個(gè)垂直度誤差
垂直度檢測	用SD附件		同上
轉(zhuǎn)臺測量	轉(zhuǎn)臺測量分辨率		0.02秒
	轉(zhuǎn)臺測量精度		1秒
	測量范圍		0-360度
兩導(dǎo)軌平行度檢測		距離	≥30m（60m,100m可選）
		分辨率	1nm
		精度	±1ppm