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北京中電寶盛傳感技術(shù)有限公司


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AWM3150 霍尼韋爾微橋式氣體流量傳感器awm3150v

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產(chǎn)品型號(hào)awm3150v

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產(chǎn)品簡(jiǎn)介

AWM3150 霍尼韋爾微橋式氣體流量傳感器awm3150v
氣體質(zhì)量流量傳感器是一種采用合金薄膜和絕熱微橋結(jié)構(gòu)的設(shè)備,在其微結(jié)構(gòu)中存在加熱器和溫度傳感元件。本系列產(chǎn)品采用了的設(shè)計(jì)和制作技術(shù),其微橋結(jié)構(gòu)不僅體積小,而且具有非常靈敏、快速的響應(yīng)。適用于任何需要監(jiān)測(cè)氣流的場(chǎng)合。

詳細(xì)介紹

AWM3150 霍尼韋爾微橋式氣體流量傳感器awm3150v
氣體質(zhì)量流量傳感器是一種采用合金薄膜和絕熱微橋結(jié)構(gòu)的設(shè)備,在其微結(jié)構(gòu)中存在加熱器和溫度傳感元件。這種橋式結(jié)構(gòu)傳感器可對(duì)膜片上方的空氣或其他氣流的流速變化作出靈敏快速的反應(yīng)。

*使用環(huán)境:
本系列產(chǎn)品采用了的設(shè)計(jì)和制作技術(shù),其微橋結(jié)構(gòu)不僅體積小,而且具有非常靈敏、快速的響應(yīng)。適用于任何需要監(jiān)測(cè)氣流的場(chǎng)合。
AWM3150 霍尼韋爾微橋式氣體流量傳感器awm3150v

微橋氣流質(zhì)量傳感器是基于氣流流過(guò)傳感元件的熱傳輸工作原理,傳感器輸出電壓正比于流過(guò)內(nèi)部傳感元件的
進(jìn)出口的空氣或其他氣體質(zhì)量。
基于的微結(jié)構(gòu)技術(shù),傳感器內(nèi)含一塊*的硅芯片-它包含薄膜電路、發(fā)熱及熱敏感元件的熱隔離橋電路,
橋電路對(duì)流過(guò)芯片的氣流快速、靈敏的響應(yīng)。發(fā)熱體兩側(cè)的敏感元件還能指示氣流流過(guò)的方向。激光校整的厚膜電
路及薄膜電阻保證了每個(gè)元器件*的性能。
微橋式氣流質(zhì)量傳感器利用熱敏電阻薄膜-被壓成薄片包含在絕緣材料厚膜電路中,他們被懸掛起來(lái)在硅片刻
蝕空洞上形成橋狀,如右圖顯示,芯片被精確的安放在氣流通道上,流量傳感橋下的硅片刻蝕空洞的空氣間隙提供
發(fā)熱體和熱敏元件之間高效的熱隔離。微橋式氣流質(zhì)量傳感器的小尺寸和熱隔離有助于氣流的快速響應(yīng)及高靈敏度。
特殊設(shè)計(jì)的殼體精確地引導(dǎo)和控制氣流流過(guò)微橋,并能很方便的安裝在印刷線(xiàn)路板上。
雙惠斯頓電橋控制氣流的測(cè)量一個(gè)提供閉環(huán)的發(fā)熱器控制,另一個(gè)包含雙傳感元件,發(fā)熱器控制線(xiàn)路把由于周
圍環(huán)境溫度變化而引起的輸出溫飄減小到zui小程度。此線(xiàn)路保持發(fā)熱器溫度恒定高于周?chē)h(huán)境溫度160­C,周?chē)h(huán)
境溫度由芯片上的熱敏電阻測(cè)量得知,惠斯頓電橋的差壓即為隨電源電壓比率變化的傳感器輸出電壓。氣流中的灰塵平行流過(guò)芯片表面,另外熱遷移效應(yīng)能移走微米級(jí)的粒子,清潔了微電路,使用一些運(yùn)用中可能
存在的污染被減少,在我們的加速壽命試驗(yàn)中,在低于50sccm速度氣流的典型的工業(yè)環(huán)境下,氣流質(zhì)量傳感器能達(dá)到20 年的預(yù)測(cè)壽命。
由于灰塵附著在芯片邊緣而引起的堵塞在低速下可以簡(jiǎn)單地使用過(guò)濾網(wǎng)而*解決,使用小格柵和高氣流阻抗的過(guò)濾網(wǎng)可得到*的過(guò)濾效果- 當(dāng)大量灰塵堆積在過(guò)濾網(wǎng)上時(shí),綜合阻抗不會(huì)顯著變化,可采用一次性使用的5 微米格柵的過(guò)濾網(wǎng)。
特點(diǎn):
* 的微加工技術(shù)
* 低氣流速度敏感-0.1sccm
* zui高檢測(cè)流量200 升/ 分鐘
* 快速響應(yīng),低電流損耗,高反應(yīng)重復(fù)性
* 激光刻蝕提供了器件的*性
* 低壓力精確測(cè)量(0.001-4”水柱)
典型運(yùn)用:
* HVAC 的風(fēng)門(mén)擋板控制
* 氣體分析儀
* 低真空控制
* 過(guò)程控制
* 科研呼吸儀和肺活量?jī)x
* 氧氣供應(yīng)
* 麻醉控制儀
* 氣體標(biāo)定
 


氣體質(zhì)量流量傳感器是一種采用合金薄膜和絕熱微橋結(jié)構(gòu)的設(shè)備,在其微結(jié)構(gòu)中存在加熱器和溫度傳感元件。這種橋式結(jié)構(gòu)傳感器可對(duì)膜片上方的空氣或其他氣流的流速變化作出靈敏快速的反應(yīng)。

*使用環(huán)境:
本系列產(chǎn)品采用了的設(shè)計(jì)和制作技術(shù),其微橋結(jié)構(gòu)不僅體積小,而且具有非常靈敏、快速的響應(yīng)。適用于任何需要監(jiān)測(cè)氣流的場(chǎng)合。

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