在很多超純氣應(yīng)用，諸如半導(dǎo)體工業(yè)中，氣體中殘余的濕氣對(duì)于過(guò)程處理的正常運(yùn)作至關(guān)重要。一直以來(lái)，對(duì)濕氣的持續(xù)追蹤測(cè)量都是個(gè)難點(diǎn)，需要用到復(fù)雜的濕度分析儀或者昂貴的分析技術(shù)。然而密析爾儀表高純氣露點(diǎn)變送器則向市場(chǎng)推出了簡(jiǎn)單的、經(jīng)濟(jì)的、相當(dāng)有效的方案，用來(lái)在線測(cè)量露點(diǎn)值，下限低至驚人的-120°C (相當(dāng)于不到 1 ppb_V)。

Pura 變送器是基于密析爾儀表多年在阻抗露點(diǎn)傳感器生產(chǎn)和校驗(yàn)的專業(yè)經(jīng)驗(yàn)，結(jié)合標(biāo)準(zhǔn)工業(yè)化的材料和制造流程，打造出的適用于半導(dǎo)體制造行業(yè)和超純氣體應(yīng)用的低價(jià)位變送器。

亮點(diǎn)

• 測(cè)量下限 -120°C 露點(diǎn) (1 ppb_V)

• 測(cè)量穩(wěn)定，重復(fù)性好

• 高度集成的采樣裝置

• 模擬和數(shù)字輸出

• 安裝簡(jiǎn)便

• VCR 過(guò)程接口

• 設(shè)計(jì)緊湊小巧

• 顯示/報(bào)警單元可選