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捷銳企業(yè)u57系列單級調整器是一種無彈簧，無螺紋，現(xiàn)代半導體制造商使用束縛隔膜設計，設備制造商和zui終用戶。我們的金屬膜片閥體密封的目的是減少泄漏和提供優(yōu)良的精度和壽命。
特征
316L和哈氏合金®體
金屬對金屬密封膜片體
簡單的前面板和后支架安裝
表接口標準的1 / 4“密封男。1 / 4“內部密封的女性也可
無彈簧或螺紋暴露于濕潤地區(qū)
標準的充分的內部的電解拋光
設計的非常低的粒子產(chǎn)生
清洗，組裝和包裝的高純度半導體應用
高循環(huán)壽命
的氦泄漏試驗
建筑材料
濕的
體316L不銹鋼，哈氏合金®
座PCTFE
®隔膜埃爾基洛伊耐蝕游絲合金，哈氏合金®
提升316L不銹鋼
受壓構件316L不銹鋼
剩余部分的316L不銹鋼
非潤濕
螺母316不銹鋼
鍍鎳黃銅帽
ABS塑料旋鈕
操作條件
zui大進口壓力為300 psig的（20巴）
出口壓力0-30 PSIG（2 barg）
溫度0°F 140°F（18 C 60°°C）
功能表現(xiàn)
流量CV = 0.054
zui大泄漏率：
內漏0.5×10-9 ATM CC /秒他
外漏1×10-9 ATM CC /秒他
在閥座泄漏1×10-9 ATM CC /秒他
zui大額定耐壓壓力150%
zui大額定壓力爆破壓力400%
表面光潔度
標準的RA（EP）在10
可選的RA（EP）在5
內部容積9.3cc
|
型號參數(shù)：
| Series | Body | Ports | Seat | Inlet Pressure | Outlet Pressure | Gauge | Inlet/Outlet Connections | Options |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| U57 | SL: 316L | A: 2 port | K: PCTFE | G: 300psig | L: 0-30psig | P: with gauge | 91: FSR（1/4"F） | E: 5 μin |
| H: Hasloy® | B: 3 port | W: without gauge | 92: FSR（1/4"M） | I: Internal 1/4" FSR（F） gauge ports | ||||
| G: 4 port | 41: 1/4" tube weld stub | T: Trim Hasloy® internal |
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