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當(dāng)前位置:深圳市科銳詩(shī)汀科技有限公司>>石英晶體膜厚控制儀>>INFICON>> HVPS/SC帶集成源控制的 高壓電源
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帶集成源控制的 HVPS/SC 高壓電源
性能強(qiáng)大,設(shè)計(jì)小巧
HVPS/SC 是固態(tài)高壓電源,具有在電子束 (e-beam) 真空沉積系統(tǒng)中使用的集成源控制器。 其革命性的設(shè)計(jì)使其成為市場(chǎng)上zui小、zui有效并且功能豐富的高壓電源之一。
性能強(qiáng)大
HVPS/SC 具有 4 至 10.2 千伏的可調(diào)輸出電壓以及 10 至 999 毫安的可調(diào)發(fā)射電流。 這使其兼容各種電子槍。 零電壓開(kāi)關(guān) (ZVS) 技術(shù)和接近 1 的功率因數(shù)可幫助 HVPS/SC 實(shí)現(xiàn)超過(guò) 90% 的效率,具有小于 1% 的發(fā)射電流紋波,從而獲得精密可靠的電子束。
經(jīng)久耐用
HVPS/SC 非常堅(jiān)固可靠。 設(shè)計(jì)為連續(xù)工作和/或連續(xù)電弧,在 15 毫秒內(nèi)就可實(shí)現(xiàn)*電弧恢復(fù)。存儲(chǔ)能量在 10 千瓦下低至小于 2 焦耳,從而有助于快速消除電弧并將對(duì)速率控制的影響降到zui低。 每個(gè) HVPS/SC 均經(jīng)過(guò)全面測(cè)試和強(qiáng)化測(cè)試,以確保正常運(yùn)行和耐用性。
設(shè)計(jì)小巧,易于集成
HVPS/SC 將電源和源控制器通過(guò)“直接到燈絲"的設(shè)計(jì)相結(jié)合,無(wú)需外部燈絲變壓器。 這一設(shè)計(jì)使得占用的機(jī)架空間比多數(shù)競(jìng)爭(zhēng)對(duì)手的電源和源控制器少一半有余,可以輕松集成到工具中。 通過(guò)標(biāo)準(zhǔn) USB、RS-232 和 RS-485 連接即可連接到 PC 或 PLC。
· 4 至 10.2 千伏輸出電壓,10 至 999 毫安發(fā)射電流輸出
· 超低存儲(chǔ)能量(10 千瓦輸出下小于 2 焦耳)
· 12 伏,70 安集成絲極電源用于調(diào)節(jié)發(fā)射
· 功率因數(shù)接近 1 且 >90% 的效率
· 精確: <1% 紋波和調(diào)節(jié)
· 快速電弧響應(yīng): 約 15 毫秒內(nèi)*電弧恢復(fù)
· 堅(jiān)固耐用: 適合連續(xù)工作和在連續(xù)電弧下工作,或兩者之間的任何情況
· 短路/過(guò)熱/過(guò)電壓保護(hù)
· 結(jié)構(gòu)緊湊: 高度為 3U
· 可編程電弧率閾值和電弧延遲
· 集成源控制(燈絲電流電源)和燈絲變壓器,易于安裝
· 集成電源線路濾波器
· 單槍電子束沉積系統(tǒng)
· 雙槍電子束沉積系統(tǒng)(需要兩個(gè) HVPS/SC)
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