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產(chǎn)地	進(jìn)口	加工定制	否

Granville-Phillips系列390 Micro-lon ATM模塊(GP 390型真空計(jì))

真空測(cè)量解決方案

Granville-Phillips的Micro-lon ATM模塊復(fù)合了經(jīng)標(biāo)定的Micro-lon電離規(guī)技術(shù)和微型Conductron熱損失傳感技術(shù)和兩個(gè)壓阻薄膜傳感器于一體，從而提供了從高真空到大氣壓的精確、連續(xù)的壓力測(cè)量。

GP 390型真空計(jì)運(yùn)用薄膜傳感器技術(shù)，該產(chǎn)品可以提供近大氣端的精確的絕壓測(cè)量并能提供大氣端真空腔室內(nèi)精準(zhǔn)的相對(duì)壓力指示。GP 390型真空計(jì)*的傳感器設(shè)計(jì)消除了在高壓力下影響熱損失傳感器特性的熱效應(yīng)。 GP 390型真空計(jì)這種小型的模塊復(fù)合了全部四種傳感器及控制電子器件于一個(gè)緊湊的一體化設(shè)計(jì)中，減少了腔室真空規(guī)管的需求數(shù)量并zui小化所占空間。全量程壓力測(cè)量可以通過單一模擬量信號(hào)或可選的串行RS-485或DeviceNet數(shù)字協(xié)議輸出。GP 390型真空計(jì)RS-485和DeviceNet版本產(chǎn)品可以zui多選擇三個(gè)設(shè)定點(diǎn)繼電器用于工藝控制，可以在真空壓力測(cè)量范圍內(nèi)設(shè)定任意壓力值或者相對(duì)壓力值。

GP 390型真空計(jì)復(fù)合規(guī)管技術(shù)

以往，在寬量程范圍內(nèi)要進(jìn)行精確測(cè)量需要對(duì)個(gè)傳感器，多個(gè)真空系統(tǒng)接口，以及相關(guān)電纜及電子器件。Granville-Phillips的Micro-lon ATM模塊（GP 390型真空計(jì)）合并多傳感器于一個(gè)微機(jī)控制設(shè)計(jì)中，減少了整體購置成本，同時(shí)提高真空測(cè)量性能。

Granville-Phillips將20多年成功的規(guī)管設(shè)計(jì)以及現(xiàn)場(chǎng)裝機(jī)經(jīng)驗(yàn)運(yùn)用到了生產(chǎn)新的真空測(cè)量標(biāo)準(zhǔn)產(chǎn)品Micro-lon ATM模塊（GP 390型真空計(jì)）中。量程寬、高性能、及緊湊型設(shè)計(jì)的Micro-lon ATM（GP 390型真空計(jì)）是您進(jìn)行高真空系統(tǒng)壓力測(cè)量的明智之選。

Granville-Phillips Micro-lon®ATM模塊

GP 390型真空計(jì)內(nèi)部截面

GP 390型真空計(jì)特點(diǎn)與優(yōu)勢(shì)：

寬量程范圍：提供從10^-9Torr到大氣壓的真空壓力的連續(xù)測(cè)量。

高性能：經(jīng)過驗(yàn)證的Micro-lon雙燈絲電離規(guī)技術(shù)，獲的熱損失傳感器，以及精準(zhǔn)的薄膜技術(shù)消除了熱損失傳感器的熱影響，增強(qiáng)了高壓力的測(cè)量性能。

自動(dòng)控制：完整集成的傳感器自動(dòng)控制激活和斷開電離規(guī)，因此簡(jiǎn)化了規(guī)管操作。設(shè)定點(diǎn)的產(chǎn)品中，觸點(diǎn)繼電器可用來控制其他真空器件或?qū)崿F(xiàn)安全互鎖。設(shè)定點(diǎn)會(huì)存于非易失性存儲(chǔ)器中。

緊湊設(shè)計(jì)：一個(gè)Micro-lon規(guī)管，一個(gè)熱損失傳感器連同一個(gè)大氣薄膜規(guī)、一個(gè)絕壓薄膜規(guī)，和控制器件全部集成在一個(gè)緊湊的模塊包中。

RS-485接口：允許模塊和主機(jī)之間進(jìn)行通訊，并可使用可選的RS-485模塊配置進(jìn)行通訊。

DeviceNet接口：可提供高速壓力測(cè)量讀數(shù)及簡(jiǎn)單的規(guī)管配置參數(shù)的獲取。

可選的過程控制繼電器：zui多可用三個(gè)設(shè)定

Granville-Phillips Micro-lon®ATM模塊

GP 390型真空計(jì)傳感器開關(guān)點(diǎn)

點(diǎn)控制繼電器從而簡(jiǎn)化工藝控制功能。設(shè)定點(diǎn)可以通過RS-485接口來配置。

現(xiàn)場(chǎng)可更換的規(guī)管組件：規(guī)管組件可以在模塊從真空系統(tǒng)上取下后僅僅使用螺絲刀就能實(shí)現(xiàn)快速簡(jiǎn)單的更換。

GP 390型真空計(jì)技術(shù)規(guī)格

測(cè)量范圍（對(duì)于空氣或N₂）（注釋1、2、3）
Torr	1x10^-9到大氣壓
Mbar	1.33x10^-9到大氣壓
Pa	1.33x10^-7到大氣壓
X射線極限（注釋4）
Torr	<3x10^-10
Mbar	<4x10^-10
Pa	<4x10^-8
基于環(huán)境壓力的相對(duì)壓力測(cè)量范圍
Torr	-750到+250
Mbar	-999到333
KPa	-99.9到33.3
精度（對(duì)于空氣或N₂的絕壓）（注釋5）
Torr	1x10^-6到100mTorr：+/-15%讀數(shù)；100mTorr到150：+/-10%讀數(shù)；150到1000：+/-2.5%讀數(shù)
Mbar	1.33x10^-6到0.133：+/-15%讀數(shù)；0.133到200：+/-10%讀數(shù)；200到1333：+/-2.5%讀數(shù)
Pa	1.33x10^-6到13.3：+/-15%讀數(shù)；13.3到2x10⁴：+/-10%讀數(shù)；2x10⁴到1.33x10⁵：+/-2.5%讀數(shù)
重復(fù)性（對(duì)于空氣或N₂的絕壓）（注釋6）
Torr	1x10^-6到100mTorr：+/-5%讀數(shù)；100mTorr到150：+/-2.5%讀數(shù)；150到1000：+/-1.0%讀數(shù)
Mbar	1.33x10^-6到0.133：+/-5%讀數(shù)；0.133到200：+/-2.5%讀數(shù)；200到1333：+/-1.0%讀數(shù)
Pa	1.33x10^-6到13.3：+/-5%讀數(shù)；13.3到2x10⁴：+/-2.5%讀數(shù)；2x10⁴到1.33x10⁵：+/-1.0%讀數(shù)
精度（相對(duì)壓力）	+/-（2.5Torr+2.5%讀數(shù)）；+/-（3.3mbar+2.5%讀數(shù)）；+/-（0.33KPa+2.5%讀數(shù)）
響應(yīng)時(shí)間	<25毫秒
模擬量輸出
壓力	對(duì)數(shù)，0.5到7.0VDC，0.5V/數(shù)量級(jí)
相對(duì)壓力	線性，1-5VDC，-750到+250Torr（-1000到+333mbar；-100到+33KPa）
RS-485串口
數(shù)字通訊口	2線，半雙工
通訊格式	ASCII，無奇偶校驗(yàn)位，1位停止位
波特率	1200,2400,4800,9600,19200（默認(rèn)），38400
地址	0-63，通過地址選擇開關(guān)選擇或通過RS-485命令
DeviceNet網(wǎng)絡(luò)接口
通訊類型	輪詢I/O和顯示傳送
通訊格式	BOOL，BYTE，STRUCT，SSTRING，REAL，INT，UINT，USINT，EPATH和WORD數(shù)據(jù)
波特率	125,250或500千波，開關(guān)選擇
地址	0-63，通過地址選擇開關(guān)選擇
工作溫度	10-40⁰C（50-104⁰F）不結(jié)露
存放溫度	-40-+70⁰C（-40-+158⁰F）不結(jié)露
烘烤溫度	zui高105⁰C（221⁰F），移除電子器件
電離規(guī)發(fā)射電流	自動(dòng)量程切換
電離規(guī)自動(dòng)控制設(shè)定（默認(rèn)）
電離規(guī)啟動(dòng)	2x10^-2Torr；2.66x10^-2mbar，2.66Pa，隨壓力上升關(guān)閉
電離規(guī)停止	3x10^-2Torr；3.99x10^-2mbar，3.99Pa，隨壓力上升關(guān)閉
切換至高發(fā)射	5x10^-6Torr；6.66x10^-6mbar，6.66x10^-4Pa，隨壓力上升關(guān)閉
切換至低發(fā)射	1x10^-5Torr；1.33x10^-5mbar，1.33x10^-3Pa，隨壓力上升關(guān)閉
電離規(guī)除氣	電子轟擊；每個(gè)燈絲3W一分鐘
電離規(guī)燈絲	鎢絲或鍍氧化釔的銥絲
燈絲操作（注釋7）	交替（氧化釔燈絲的默認(rèn)模式），自動(dòng)，手動(dòng)（鎢絲的默認(rèn)模式）
熱損失傳感絲	鍍金鎢
規(guī)管容積	10.8cm³（0.65in³）
LED指示	模塊狀態(tài)
I/O連接	RS-485/模擬量：15針D型插針接頭，DeviceNet：5針微型接頭
zui大沖擊電流	RS-485/模擬量：2A 48W 0.5秒，DeviceNet：0.25A
供電要求	RS-485/模擬量：24VDC+10%到-15%，1A 22W額定；DeviceNet：24VDC(11到26.4VDC)額定0.2A
CE認(rèn)證
EMC電磁兼容指令	89/3361/EEC；EN50081-2，EN50082-2，EN1326-1
低壓指令	73/23/EEC；EN61010-1
顯示選項(xiàng)	圖形液晶
繼電器設(shè)定點(diǎn)選項(xiàng)	僅RS-485或DeviceNet：2SPDT(NO/NC)或3SPST(NO)，每個(gè)設(shè)定點(diǎn)都可以獨(dú)立分配給絕壓或相對(duì)壓力測(cè)量
繼電器觸點(diǎn)額定值
zui大	1A 30VDC阻抗
zui小	5mA 5VDC阻抗
重量	728.5g（25.7oz）（2.75CF法蘭）
外殼材料	壓鋁粉末噴涂
暴露于真空下的材質(zhì)	304不銹鋼，鉭，鎢，銥絲鍍氧化釔，氧化鋁，銀銅焊料，可伐，可伐鍍金或鍍鎳，硅酸硼玻璃

GP 390型真空計(jì)注釋：

測(cè)量結(jié)果會(huì)隨不同氣體和混合情況而改變。
Micro-lon ATM模塊不能用于易燃易爆氣體測(cè)量。
大氣壓的數(shù)值是基于標(biāo)定時(shí)環(huán)境壓力。
X射線極限是規(guī)管的zui小絕壓讀值。在X射線極限附近不可能進(jìn)行重復(fù)測(cè)量。
精度（規(guī)管讀數(shù)和校驗(yàn)參考標(biāo)準(zhǔn)之間的差異）是通過數(shù)據(jù)統(tǒng)計(jì)確定的并且包括了規(guī)管和電子器件的綜合性能。
重復(fù)性是指同一模塊在不同時(shí)間讀取相同壓力值的能力。
在交替模式下模塊將交替激活電離規(guī)燈絲。在自動(dòng)模式下燈絲1會(huì)先工作直至它不能工作為止，然后模塊自動(dòng)切換到燈絲2工作。在手動(dòng)模式下模塊會(huì)按照自動(dòng)模式的操作方式讓燈絲工作，除非手動(dòng)干預(yù)要求激活燈絲2。