產(chǎn)品特點(diǎn)：

● 技術(shù)的CMOS傳感器設(shè)計(jì)，杜絕了零點(diǎn)漂移的問題。

● 小于150ms的超快速的響應(yīng)時(shí)間。

● 5sccm到450slm的量程范圍內(nèi)確保了精確和可重復(fù)的流量測量和控制

● 高精度的測量精度（讀數(shù)值的0.5%+0.3%的全量程）

● *的內(nèi)部抗紊流設(shè)計(jì)，可以消除因上游的壓力變化而導(dǎo)致下游氣體流量的變化。

● 多達(dá)6個(gè)點(diǎn)的流量校準(zhǔn)點(diǎn)，比很多其他品牌流量計(jì)5個(gè)點(diǎn)的校準(zhǔn)點(diǎn)，意味著更好的線性度；特別是在0-20%的流量控制范圍。

● 只有1秒的熱機(jī)時(shí)間,減少因MFC預(yù)熱時(shí)間而影響生產(chǎn)

● 全量程1%-的超寬量程比控制，為用戶提供更廣的應(yīng)用選擇

● 可以顯示流量設(shè)定值，實(shí)際測量值，氣體類型以及累積氣體消耗量等信息,同時(shí)可以測量所控制氣體的溫度。

● 不銹鋼的表面處理、潔凈室要求的處理，和zui少的橡膠密封件使用保證了在清潔工藝中的使用要求。

● 可提供Analog(0-5VDC,4-20mA)，Profibus DP,RS485/Modbus等控制方式，

● 可提供16種氣體的多氣體/多量程的設(shè)置

● 3年超長的質(zhì)量保證

● 符合歐洲CE，EMC標(biāo)志

OEM版本

同時(shí)瑞士Vogtlin質(zhì)量流量控制器還有OEM的版本，是專門為設(shè)備商而量身定做的，為設(shè)備商提供諸如氣體3進(jìn)1出，4進(jìn)一出，或者1進(jìn)3出，1進(jìn)4出,zui多可以集成12路氣體，以及流量控制器的入口和出口表面安裝方式等氣體混合解決方案，大大減少了管路的占用和氣體分配系統(tǒng)的空間，具體的應(yīng)用要求，請

同時(shí)瑞士Vogtlin質(zhì)量流量控制器還有OEM的版本，是專門為設(shè)備商而量身定做的，為設(shè)備商提供諸如氣體3進(jìn)1出，4進(jìn)一出，或者1進(jìn)3出，1進(jìn)4出,zui多可以集成12路氣體，以及流量控制器的入口和出口表面安裝方式等氣體混合解決方案，大大減少了管路的占用和氣體分配系統(tǒng)的空間，具體的應(yīng)用要求，請與我們。