批次式（Batch type）設備的腔體形狀及尺寸不一，例如要求冷卻效果而設計的雙層腔體，為了提升產(chǎn)能而設計的雙門腔體，其他如真空度要求、成膜方式、制程氣體種類及基板材質等都會影響真空腔體的設計，Htc日揚科技可以配合客戶需求并提供相關參考經(jīng)驗達到真空腔體設計的*化。

Htc日揚科技制造的Batch type Chambers應用在：液晶注入機、車燈鍍膜機、刀具鍍膜設備、矽晶長晶設備、電漿清洗設備、真空排氣系統(tǒng)、晶圓檢測設備、軟板制程傳輸設備、卷繞式鍍膜機、真空加熱設備及薄膜太陽能電池鍍膜設備