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深圳市科銳詩汀科技有限公司
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EDWARDS復(fù)合渦輪分子泵

參  考  價面議
具體成交價以合同協(xié)議為準(zhǔn)

產(chǎn)品型號EXT406PX

品       牌Edwards/愛德華

廠商性質(zhì)代理商

所  在  地深圳市

更新時間:2024-12-23 17:34:33瀏覽次數(shù):4526次

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BOC Edwards EXT泵適用于除zui苛刻的半導(dǎo)體應(yīng)用和科學(xué)應(yīng)用(這些領(lǐng)域可使用STP系列泵)以外的任何領(lǐng)域。EXT系列一般使用球形氮化硅陶瓷軸承和磁懸浮軸承的組合形式。陶瓷軸承與傳統(tǒng)軸承相比具有更輕、更硬和更平穩(wěn)的優(yōu)點,以及壽命長、小振動的優(yōu)點。由于軸承滾珠和軸承座使用了不同材料,防止了微小凹陷而提高可靠性。

BOC Edwards EXT406PX泵

性能特點

真空系統(tǒng)簡單

* 可以選用較小的前級泵。

* 降低真空系統(tǒng)體積與功耗。

* 前級壓力在8mbar就可啟動,入口負(fù)載可達(dá)2E-3 。

* 前級壓力在8mbar就可啟動,入口負(fù)載可達(dá)2E-3 。

* 前級壓力為17mbar時,還可維持正常轉(zhuǎn)速。

非常適合于與隔膜泵聯(lián)用,特別適用于抽H2。

兼容24v DC Edwards TIC渦輪控制器或渦輪儀表控制器。

* 也可使用用戶自己的24V DC電源。

技術(shù)數(shù)據(jù)


入口法蘭          DN100ISO-K、DN100CF、DN160ISO-K、DN160CF

壓縮比

N2

>1 x 10E11

He

1 x 10E6

出口法蘭(前級泵口)

DN25NW

前級泵(推薦)

XDS10或RV12(或其它更小的,依應(yīng)用而定)

放氣口

1/8 inch BSP

吹掃凈化口

1/8 inch BSP

zui高入口壓力(空氣) *



水冷(水溫15°C,大氣溫度40°C)

0.008mbar


空冷(大氣溫度35°C)

0.012mbar

額定轉(zhuǎn)速

60000 rpm

轉(zhuǎn)速達(dá)到90%所需時間 **

285 s

冷卻方式

空冷/水冷

大氣溫度(空冷)

5-35 °C

冷卻水zui低流速(水溫15 °C)

15 l/h

水溫范圍

10-20 °C

入口法蘭zui高溫度

100 °C

工作姿態(tài)

垂直

噪音(1m處)

<45 dB(A)

zui大磁場

5 mT

靜止功耗

25~40 W

EXT406PX渦輪分子泵安裝尺寸

A EXDC控制器

B 前級泵口

C 羅茨泵口

D 吹掃凈化口

E 放氣口

F 接地


EXT406PX渦輪分子泵特性曲線



訂貨信息


描述

貨號

EXT406PX 復(fù)合渦輪分子泵 DN100ISO入口法蘭

B760-31-991

EXT406PX 復(fù)合渦輪分子泵 DN100CF入口法蘭

B760-32-991

EXT406PX 復(fù)合渦輪分子泵 DN160ISO入口法蘭

B760-41-991

EXT406PX 復(fù)合渦輪分子泵 DN160CF入口法蘭

B760-42-991

EXDC160 24 V

D396-46-000




































































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