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Htc真空鐘擺閥具有高性能真空壓力控制系統(tǒng)，控制節(jié)流擺閥板可做開關(guān)動作，調(diào)整閘板開口大小及調(diào)整壓力(手動), 主要設(shè)計用來取代傳統(tǒng)的線性作動真空閘閥，以更少的移動零件、更少金屬與金屬間的摩擦，就能讓粉塵減少。以Htc日揚真空鐘擺閥的安裝也比傳統(tǒng)的真空閘閥方式只需要更少的空間即能便利安裝。
真空鐘擺閥的應(yīng)用
高科技制程后段壓力控制和隔離閥
應(yīng)用產(chǎn)業(yè)
>> SEMI - 半導(dǎo)體
>> FPD - 光電面板
>> CVD - 化學(xué)氣相沉積
>> Solar - 太陽能
APC鐘擺閥特點
集成整合壓力控制
精確的壓力控制
密實的隔離
反應(yīng)時間快
友善簡易操作使用接口
材質(zhì) | 本體 | A6061-T6 | ||
閥板 | A6061-T6 | |||
開關(guān)壽命 | 200,000 cycles | |||
氦氣泄漏率 (一大氣壓壓差) | 本體 鋁合金 | ＜1×10-9 mbar .l /sec | ||
本體 鋁合金 ,超硬陽極處理 | ＜1×10-5 mbar .l /sec | |||
烘烤溫度 | 本體 | ≤ 120 ℃ | ||
驅(qū)動器 | ≤ 80 ℃ | |||
電磁閥 | ≤ 50 ℃ | |||
壓力范圍 | 鋁合金 | 1×10-8 mbar to 1.2 bar | ||
鋁合金 ,超硬陽極處理 | 1×10-6 mbar to 1.2 bar | |||
最大壓差 | 1.2 bar | |||
開啟前壓差 | ≤ 5 mbar | |||
壓縮空氣壓力 | 4 ~ 6 Kg/cm2 | |||
開 / 關(guān)時間(秒) | ISO 200 | ISO 250 | ISO 320 | |
1.2/1.2 | 1.2/1.2 | 2.0/2.0 | ||
密封圈材質(zhì) | 閥板 | Viton O-ring 密封圈 | ||
閥蓋 | Viton O-ring 密封圈 | |||
驅(qū)動器 | 氣動氣缸與手動旋鈕 | |||
重量 | ISO 200 | ISO 250 | ISO 320 | |
22Kg | 32Kg | 52Kg | ||
安裝位置 | 水平或垂直 | |||
選配 | a. 其他密封圈材質(zhì) | |||
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