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深圳市科銳詩(shī)汀科技有限公司
中級(jí)會(huì)員 | 第16年

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XT100,XT200,XT300 四極質(zhì)譜殘余氣體分析儀

時(shí)間:2011-4-26閱讀:2151
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XT100,XT200,XT300美國(guó)EXTORR四極質(zhì)譜殘余氣體分析儀

特點(diǎn)及應(yīng)用:
•操作簡(jiǎn)單
•可靠,方便
•在線原位分析真空環(huán)境及工藝氣體
•對(duì)真空系統(tǒng)檢漏
•優(yōu)化工藝過(guò)程參數(shù),提高鍍膜產(chǎn)品質(zhì)量
•定性或定量分析監(jiān)測(cè)濺射鍍膜反應(yīng)工藝過(guò)程中真空室內(nèi)的氣體分壓強(qiáng)
在工藝中的效果
改善質(zhì)量
改進(jìn)工藝
減少停機(jī)時(shí)間
提高流片量
縮小工藝周期
降低成本

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