保持真空

英?？稻_的泄漏檢測(cè)方案可確保對(duì)半導(dǎo)體工藝至關(guān)重要的真空條件的完整性。即使是極微小的泄漏，也可加以識(shí)別和修復(fù)，以確保 dute的半導(dǎo)體特性。

保持潔凈室條件

使用示蹤氣體進(jìn)行泄漏檢測(cè)，可有效防止顆粒和污染物的進(jìn)入，維護(hù)半導(dǎo)體潔凈室嚴(yán)格的潔凈度標(biāo)準(zhǔn)。

定位復(fù)雜泄漏

英?？档男孤z測(cè)技術(shù)，包括示蹤氣體的使用，可有效識(shí)別定位不同配置的復(fù)雜半導(dǎo)體設(shè)備中的各種泄漏。

捕捉微小泄漏，保持產(chǎn)品品質(zhì)

精確、高靈敏度的泄漏檢測(cè)方案可確保識(shí)別極微小的泄漏，以保持半導(dǎo)體制造工藝所需的純度，防止缺陷和確保產(chǎn)品質(zhì)量。

材料兼容性

英?？档男孤z測(cè)方案與半導(dǎo)體材料兼容，可確保不會(huì)損壞或改變半導(dǎo)體制造中所用材料的性能。

快速檢測(cè)泄漏，實(shí)現(xiàn)高產(chǎn)能

英?？堤峁┑目煽啃孤z測(cè)系統(tǒng)能夠以極快的速度獲得可靠的結(jié)果，從而提高半導(dǎo)體制造的產(chǎn)能?？焖僮R(shí)別和解決泄漏問(wèn)題也是最大限度減少停機(jī)時(shí)間，確保生產(chǎn)效率的關(guān)鍵。

與自動(dòng)化系統(tǒng)集成

英?？档男孤z測(cè)方案可與自動(dòng)化系統(tǒng)無(wú)縫集成，實(shí)現(xiàn)持續(xù)監(jiān)控和即時(shí)泄漏響應(yīng)，并有助于提高半導(dǎo)體自動(dòng)化制造過(guò)程的整體設(shè)備效率 (OEE)。

經(jīng)濟(jì)高效的解決方案

英福康致力于開(kāi)發(fā)經(jīng)濟(jì)高效的泄漏檢測(cè)解決方案，在準(zhǔn)確性和成本之間取得平衡。

UL6000 Fab

UL3000 Fab

UL1000 Fab