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INFICON/CDG025D-X3替代MKS耐腐蝕薄膜規(guī)
您還在為尋找MKS產(chǎn)品煩惱嗎?現(xiàn)英??担↖NFICON)可以替代部分MKS產(chǎn)品。我司的3CB1-F51-230B/CDG025D-X3(1000 torr;DN16 ISO-KF)可以替代MKS722;MKS626;MKS727等型號(hào)產(chǎn)品, 此款產(chǎn)品具抗腐蝕超純陶瓷傳感器和傳感器屏蔽功能,現(xiàn)有部分現(xiàn)貨為您準(zhǔn)備好了,歡迎咨詢!
INFICON SKY CDG025D 電容式隔膜真空計(jì)系列的高精度、溫度補(bǔ)償型壓力計(jì),可以在惡劣的生產(chǎn)加工環(huán)境中提供穩(wěn)定的性能。高級(jí)數(shù)字電子元件可提高儀表性能, 且易操作, 例如一鍵歸零功能和設(shè)定點(diǎn)調(diào)整。防腐蝕超純陶瓷傳感器提供優(yōu)異的零位穩(wěn)定性(包括氣壓突變的情況),預(yù)期使用壽命長達(dá)數(shù)百萬次壓力循環(huán)。傳感器屏蔽可防止儀表被過程污染。堅(jiān)固的機(jī)械設(shè)計(jì)和數(shù)字電子元件可以改進(jìn)電磁兼容性 (EMC)、長期穩(wěn)定性和溫度補(bǔ)償。CDG025D 為開機(jī)后快速穩(wěn)定以及從氣壓中快速恢復(fù)的功能樹立了新的標(biāo)準(zhǔn)。
好處:從 100 mTorr 至 1000 Torr 的滿刻度量程;電源接通后快速穩(wěn)定;暴露于大氣壓后快速恢復(fù);防腐蝕陶瓷傳感器;長期信號(hào)穩(wěn)定性;溫度補(bǔ)償;傳感器受雙重防污染保護(hù);一鍵調(diào)零功能;寬范圍電源;2個(gè)設(shè)定點(diǎn);RS232 接口;無塵室合規(guī)
典型應(yīng)用:用于蝕刻、CVD、PVD 和 ALD 的半導(dǎo)體制造設(shè)備;數(shù)據(jù)存儲(chǔ)和顯示器制造設(shè)備;工業(yè)真空設(shè)備;經(jīng)濟(jì)、高度精確的壓力測量
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