1958年，聯(lián)邦德國的W.貝克提出有實用價值的渦輪分子泵，以后相繼出現(xiàn)了各種不同結(jié)構(gòu)的分子泵，主要有立式和臥式兩種,

渦輪分子泵主要由泵體、帶葉片的轉(zhuǎn)子（即動葉輪）、靜葉輪和驅(qū)動系統(tǒng)等組成。動葉輪外緣的線速度高達(dá)氣體分子熱運動的速度（一般為150～400米／秒）。單個葉輪的壓縮比很小，渦輪分子泵要由十多個動葉輪和靜葉輪組成。動葉輪和靜葉輪交替排列。動、靜葉輪幾何尺寸基本相同,但葉片傾斜角相反。整體式轉(zhuǎn)子。每兩個動葉輪之間裝一個靜葉輪。靜葉輪外緣用環(huán)固定并使動、靜葉輪間保持1毫米左右的間隙,動葉輪可在靜葉輪間自由旋轉(zhuǎn)。在運動葉片兩側(cè)的氣體分子呈漫散射。在葉輪左側(cè)（圖3a）,當(dāng)氣體分子到達(dá)A點附近時，在角度α1內(nèi)反射的氣體分子回到左側(cè)；在角度β1內(nèi)反射的氣體分子一部分回到左側(cè)，另一部分穿過葉片到達(dá)右側(cè)；在角度γ1內(nèi)反射的氣體分子將直接穿過葉片到達(dá)右側(cè)。同理，在葉輪右側(cè)（圖3b）,當(dāng)氣體分子入射到B點附近時，在α2角度內(nèi)反射的氣體分子將返回右側(cè)；在β2角度內(nèi)反射的氣體分子一部分到達(dá)左側(cè)，另一部分返回右側(cè)；在γ2角度內(nèi)反射的氣體分子穿過葉片到達(dá)左側(cè)。傾斜葉片的運動使氣體分子從左側(cè)穿過葉片到達(dá)右側(cè)，比從右側(cè)穿過葉片到達(dá)左側(cè)的幾率大得多。葉輪連續(xù)旋轉(zhuǎn)，氣體分子便不斷地由左側(cè)流向右側(cè)，從而產(chǎn)生抽氣作用。

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渦輪分子泵源頭和工作原理

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