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RK3H000701，性能要求派克導(dǎo)式溢流閥

17系列閥提供了一個(gè)流動(dòng)性，積極關(guān)閉了純度流體關(guān)閉系統(tǒng)。
這1 / 2"和3 / 8"彈簧式隔膜閥提供手動(dòng)和氣動(dòng)從
真空到3000 PSIG中的壓力范圍應(yīng)用提供的泄漏完整性。
以滿足半導(dǎo)體制造商的OEM工具，并指出了具體要求，對(duì)使用的天然氣運(yùn)輸系統(tǒng)。
功能齊全的真空條件下。
閥的工作有快90 °旋轉(zhuǎn)操作，有一個(gè)完整的1 / 8"孔。
其中一幅精密成型加工干和純度的PFA機(jī)構(gòu)保持系統(tǒng)的純潔性

MV - 14手動(dòng)PFA 停止旋塞閥是專為純度的半導(dǎo)體應(yīng)用。

該設(shè)計(jì)采用了純度的PFA 模機(jī)構(gòu)，以及加

工聚四氟乙烯干。壓裝干了它與身體的操作過程中泄漏密封。

955 Y是一個(gè)Veriflo經(jīng)過驗(yàn)證的超純度，低量元件內(nèi)

部復(fù)雜的設(shè)計(jì)。節(jié)省空間和減少焊接，使過程控制和955Y的系統(tǒng)。

化學(xué)材料制成的抗腐蝕性的環(huán)境中適合所有組件
許多配置，包括Parflare，可以直接安裝，減少額外的連接和降低成本
的大Cv值低蒸氣如WF6和氯化氣體壓力氣體，如CI2和BCI3。
Parker Hannifin公司的Veriflo部介紹955Y。該955Y是
一個(gè)自定義設(shè)計(jì)的純度，流量隔膜閥多方面的，設(shè)計(jì)，

RK3H000701，性能要求派克導(dǎo)式溢流閥