壓力不敏感型高性能質(zhì)量流量控制器D500

zui*的壓力不敏感型高性能質(zhì)量流量控制器D500高穩(wěn)定性質(zhì)量流量模塊——氣體流量控制不受上游和下游壓力波動(dòng)差影響、PI（壓力不敏感型）質(zhì)量流量模塊

特征：

• 壓力不敏感性

高性能的壓力不敏感型功能可有效簡(jiǎn)化氣體供應(yīng)系統(tǒng)

• 多量程,多氣體,多種壓力的解決方案

新功能允許用戶改變氣體種類、滿量程內(nèi)的流量,供應(yīng)壓力范圍

• G-LIFE 自我檢測(cè)功能(氣體定律檢查集流節(jié)流方程)

*G-Life功能允許操作人員進(jìn)行流量計(jì)自我監(jiān)測(cè),通常會(huì)在三秒內(nèi)提高生產(chǎn)能力

• 高精度

*的三維調(diào)節(jié)已改進(jìn)工藝氣體的流量精度

• 快速響應(yīng)

響應(yīng)速度＜0.8秒
已實(shí)現(xiàn)精準(zhǔn)且穩(wěn)定的流量控制

• 動(dòng)態(tài)范圍

所謂質(zhì)量流量控制器是一種計(jì)測(cè)和控制流體流量的裝置流體的流量計(jì)測(cè)通?？煞譃轶w積流量和質(zhì)量流量。體積流量由于受到計(jì)測(cè)時(shí)環(huán)境溫度和壓力的影響，如需要準(zhǔn)確測(cè)定時(shí)，必須對(duì)溫度和壓力進(jìn)行調(diào)整。而質(zhì)量流量計(jì)在測(cè)定流體質(zhì)量的時(shí)候，不容易受到環(huán)境溫度和壓力等外在因素的影響而能準(zhǔn)確地進(jìn)行流體測(cè)量。在必須對(duì)流量進(jìn)行精確計(jì)測(cè)和控制的領(lǐng)域，質(zhì)量流量控制器被廣泛的使用，例如半導(dǎo)體工業(yè)、太陽(yáng)能光電工業(yè)和微加工制造業(yè)等。