數(shù)字式質(zhì)量流量控制器SEC-N100 系列

數(shù)字式質(zhì)量流量控制器SEC-N100 系列在這些制造工藝中，對(duì)各種氣體的流量進(jìn)行準(zhǔn)確的測(cè)量和控制顯著地提高了工作效率，進(jìn)而節(jié)約了能源和提高了生產(chǎn)力。HORIBA STEC致力于質(zhì)量流量計(jì)的發(fā)展，為*的制造工藝，包括半導(dǎo)體、光電和LED的制造提供服務(wù)，并將繼續(xù)開(kāi)發(fā)新的產(chǎn)品來(lái)滿足客戶的需求。在這些制造工藝中，對(duì)各種氣體的流量進(jìn)行準(zhǔn)確的測(cè)量和控制顯著地提高了工作效率，進(jìn)而節(jié)約了能源和提高了生產(chǎn)力。HORIBA STEC致力于質(zhì)量流量計(jì)的發(fā)展，為*的制造工藝，包括半導(dǎo)體、光電和LED的制造提供服務(wù)，并將繼續(xù)開(kāi)發(fā)新的產(chǎn)品來(lái)滿足客戶的需求。

特征：高精度（設(shè)定點(diǎn)為基準(zhǔn)）MFC的線性度將由近似多項(xiàng)式曲線進(jìn)行補(bǔ)償。這幫助實(shí)現(xiàn)了對(duì)所有流量控制范圍的高精度控制。為了實(shí)際氣體流量的準(zhǔn)確性進(jìn)一步提高，各種工藝氣體的校準(zhǔn)數(shù)據(jù)將按照HORIBA STEC標(biāo)準(zhǔn)的氣體測(cè)量系統(tǒng)進(jìn)行校驗(yàn)。

整個(gè)流量控制范圍內(nèi)都可實(shí)現(xiàn)高響應(yīng)速度

1秒高速響應(yīng)搭載了開(kāi)發(fā)的“可變PID系統(tǒng)”，對(duì)于所有設(shè)置點(diǎn)它可以實(shí)現(xiàn)1秒內(nèi)的高響應(yīng)速度。當(dāng)您改變標(biāo)定滿量程和氣體種類時(shí)，可變PID將根據(jù)當(dāng)下的設(shè)定點(diǎn)不斷變化，其PID參數(shù)也將隨之被優(yōu)化。    

SEC-N102 系列:數(shù)字式信號(hào)傳輸，RS485 F-NET協(xié)議，模擬式信號(hào)傳輸，?0～5VDC

SEC-N104 系列：DeviceNet 信號(hào)傳輸，遵照ODVA標(biāo)準(zhǔn)

SEC-N106 系列：PROFIBUS 信號(hào)傳輸，模擬式信號(hào)傳輸，?0 至 5VDC, 0 至 10VDC　4 至 20mA