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SemiChem 在線濃度監(jiān)測儀

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產(chǎn)品型號

品       牌

廠商性質(zhì)其他

所  在  地上海市

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更新時間：2024-02-17 11:22:59瀏覽次數(shù)：139次

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經(jīng)營模式：其他

商鋪產(chǎn)品：165條

所在地區(qū)：上海上海市

聯(lián)系人：銷售部

產(chǎn)品簡介

簡要描述：我們的 SemiChem Advanced Process Monitor（SemiChem 在線濃度監(jiān)測儀）是集自動取樣、分析和報告關(guān)鍵過程的定量化學(xué)濃度的化學(xué)監(jiān)測系統(tǒng)。全面的在線化學(xué)監(jiān)測可實時校正漿料成分，從而穩(wěn)定控制工藝生產(chǎn)條件。該系統(tǒng)可提供分類化學(xué)濃度數(shù)據(jù)。當(dāng)立即顯現(xiàn)時，可以快速糾正可能對產(chǎn)品質(zhì)量產(chǎn)生負(fù)面影響的變化，有助于滿足更高產(chǎn)品產(chǎn)量的要求。

詳細(xì)介紹

詳情介紹

SemiChem 在線濃度監(jiān)測儀

Entegris在設(shè)計和生產(chǎn)用于半導(dǎo)體制造工藝中的化學(xué)機(jī)械平坦化（CMP）漿料和配方清潔化學(xué)品的高精度分析儀器的有豐富的經(jīng)驗。我們的技術(shù)旨在確保復(fù)雜混合化學(xué)品的精確一致性，并在 CMP和配方清潔工藝中實現(xiàn)高產(chǎn)量。


我們的 SemiChem Advanced Process Monitor （SemiChem 在線濃度監(jiān)測儀）是集自動取樣、分析和報告關(guān)鍵過程的定量化學(xué)濃度的化學(xué)監(jiān)測系統(tǒng)。全面的在線化學(xué)監(jiān)測可實時校正漿料成分，從而穩(wěn)定控制工藝生產(chǎn)條件。該系統(tǒng)可提供分類化學(xué)濃度數(shù)據(jù)。當(dāng)立即顯現(xiàn)時，可以快速糾正可能對產(chǎn)品質(zhì)量產(chǎn)生負(fù)面影響的變化，有助于滿足更高產(chǎn)品產(chǎn)量的要求。


應(yīng)用領(lǐng)域

在范圍內(nèi)，我們安裝了近3000套SemiChem APM系統(tǒng)，用于控制金屬 CMP 濃度。它是控制CMP過氧化物的可靠的中心工具，并被證明在微電子環(huán)境中的所有濕化學(xué)應(yīng)用中都具有較好的性能，包括：

·銅，鎢，阻擋層和金屬CMP

·制定清潔

·DSP+

·濕法蝕刻，氮化物蝕刻

·平底蝕刻，食人魚蝕刻

·高頻

·廢水


功能與特點


經(jīng)驗證的標(biāo)準(zhǔn)電化學(xué)技術(shù)提供行業(yè)精確的監(jiān)控，以保證過程化學(xué)成分和完整性
提供化學(xué)濃度數(shù)據(jù)，使?jié){料/化學(xué)分配系統(tǒng)能夠提供準(zhǔn)確的化學(xué)濃度
在線的，接近實時檢測的系統(tǒng) 檢測揮發(fā)性化學(xué)物質(zhì)的工藝偏差，防止產(chǎn)品質(zhì)量損壞
將實驗室技術(shù)過渡到在線，實現(xiàn)快速準(zhǔn)確的在線控制
堅固耐用的工業(yè)設(shè)計維持至少8500小時平均工作時間
可經(jīng)受嚴(yán)峻的工業(yè)環(huán)境




規(guī)格

分析方法電位測定法，標(biāo)準(zhǔn)加成法，光度測定法
電位測量的準(zhǔn)確性* 顯示值的±0.2%
標(biāo)準(zhǔn)添加的準(zhǔn)確性* 顯示值的±2.0%
電位測量精度* ±0.2%相對誤差
標(biāo)準(zhǔn)添加精度* ±2.0%相對誤差
測量時間>5分鐘/次（取決于應(yīng)用程序）
校準(zhǔn)間隔 啟動時**
樣品消耗<5 mL/次
進(jìn)樣量0.05-5 mL（取決于應(yīng)用）
進(jìn)樣溫度93°C（200°F）
耗水量<1000 mL/分析
樣品進(jìn)樣/排樣<207 kPa（30 psi），0.5 L/min
1/4" OD擴(kuò)口接頭，1" FPT安全殼聯(lián)軸器
去離子水138至276 kPa（20至40 psi）
2.0升/分鐘
外徑 1/4" 擴(kuò)口接頭
CDA414-552 kPa（60-80 psi）
1/4" 外徑快速接頭
排水工藝：3/4“NPT重力排水管機(jī)柜：1/2“NPT重力
電源110/220 VAC，50/60 Hz，1/0.5 A現(xiàn)場可切換
廢氣外徑1 7/8" @ 17 CFM





























標(biāo)準(zhǔn)功能可選功能

·四個4-20 mA模擬輸出

·八個可編程繼電器

·以太網(wǎng)和RS232串行

·彩色觸摸屏

·單個測量單元

·綜合試劑儲存

·單個采樣點

·一個5 mL數(shù)字滴定管

·多傳感器輸入

·多個采樣點

·額外的5 mL數(shù)字滴定管

·附加傳感器

·安全聯(lián)鎖裝置

·試劑微量檢測















尺寸



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