機(jī)型 | SV-2000系列 | SV-3000系列 |
測(cè)定行程 | 300MM(電動(dòng)立柱) | 300MM、500MM(電動(dòng)立柱) |
測(cè)定壓力 | 4mN/0.75mN(低測(cè)定壓力) | |
移動(dòng)范圍 | 50MM | 100MM |
移動(dòng)直線度 | 0.3um/50mm | 0.3um/100mm |
0.05+1.5L/1000um | ||
?。↙=測(cè)量范圍) | ||
測(cè)量范圍 | 8um.80um.800um |
以上參數(shù)以三豐原廠資料為準(zhǔn)!