實(shí)驗(yàn)?zāi)康模?/strong>
1、了解最基本的真空系統(tǒng)的結(jié)構(gòu),掌握真空系統(tǒng)的操作方法;
2、了解真空技術(shù)的基本知識(shí),學(xué)習(xí)真空系統(tǒng)的基本方程;
3、掌握高真空的獲得、測量的基本原理及方法;
4、機(jī)械泵抽速測定;
5、擴(kuò)散泵抽速測定;
6、系統(tǒng)漏率的測定。
設(shè)備組成:
1、實(shí)驗(yàn)儀主要由真空儲(chǔ)氣瓶、玻璃油擴(kuò)散泵、真空測量儀表、高真空閥門、流導(dǎo)調(diào)節(jié)管、電控系統(tǒng)等組成。
2 、設(shè)備的真空室、 由擴(kuò)散泵、真空管路部件均可視化設(shè)計(jì);
3、電氣控制有安全防護(hù),防止誤操作對(duì)人員和設(shè)備造成損傷;
4、采用不銹鋼、真空波紋管結(jié)合管路,閥門為 316L 不銹鋼高壓雙卡套球閥;
技術(shù)參數(shù):
1、真空儲(chǔ)氣瓶: 304 不銹鋼,
尺寸:約 φ200 x 480mm (以實(shí)際設(shè)計(jì)為準(zhǔn));容積約 15L
2、真空測量:數(shù)顯復(fù)合真空計(jì);電阻規(guī)+電離規(guī)測壓范圍: 1xE5~1xE-5 Pa 數(shù)量: 2套
3、真空系統(tǒng): DRV10 雙極旋片泵+四級(jí)玻璃擴(kuò)散泵, 擴(kuò)散泵需水冷;
4、極限真空: 5xE-3 Pa;
5、3 組流導(dǎo)調(diào)節(jié)管路,組成三種不同的抽氣流導(dǎo),
6、工作電源: AC220V ± 5%50Hz;
7 、整機(jī)功率: 2kW
8、用戶需自備或另購工業(yè)水冷機(jī)組
9、機(jī)架:鋁合金型材機(jī)架。