杭州大華儀器制造有限公司
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廠商性質(zhì)其他
所 在 地杭州市
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更新時間：2023-12-25 10:48:08瀏覽次數(shù)：134次
聯(lián)系我時，請告知來自 儀表網(wǎng)真空實驗儀是一個真空實驗平臺
真空實驗儀是一個真空實驗平臺。由真空獲得部分、真空鍍膜機構(gòu)和電控及儀表等部分組成，能夠很直觀反映真空獲得的全過程。
國家實用新型：ZL 2007 2 0107661.X
主要實驗內(nèi)容
1、真空的獲得與測量；
2、蒸發(fā)法薄膜制備。
主要技術(shù)參數(shù)
1、設(shè)備的真空室、油擴散泵、真空管路部件全透明；
2、電氣控制有安全防護，防止誤操作對人員和設(shè)備造成損傷；
3、采用不銹鋼、真空橡膠管結(jié)合管路，閥門為電控雙向截止閥；
4、真空室：304 不銹鋼底盤和玻璃鐘罩組成，尺寸：Φ230×260mm；
5、真空測量：數(shù)顯復(fù)合真空計；
6、襯底溫度：室溫～ 200℃（PID 控溫）；
7、抽氣系統(tǒng)：2XZ-4B 機械泵 + 四級玻璃擴散泵，需水冷；
8、極限真空：9.6×10 -4 Pa；恢復(fù)真空：5×10 -3 Pa ＜ 40 分鐘；
9、1 組無氧銅電極，蒸發(fā)功率：AC10V/150A；襯底加熱、烘烤除氣；
10、可鍍膜尺寸：Φ70mm；
11、整機功率：3kW；16A 插座；
12、工作電源：AC220V±5，50Hz；
13、用戶需自備或另購冷卻水系統(tǒng)。
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