管狀爐式高溫?zé)酑VD裝置SFCV-1001佐藤真空
SFCV-1001,SFCV-1003,SFCV-1501,HSV-3-30G,HSV-8-50,HSV-12-80
管狀爐式高溫?zé)酑VD裝置SFCV-1001佐藤真空
管狀爐式高溫?zé)酑VD裝置SFCV-1001佐藤真空
真空蒸鍍裝置
本系列產(chǎn)品是用于研發(fā)和小批量生產(chǎn)的電阻加熱式小型蒸鍍?cè)O(shè)備。另外,本系列的一部分機(jī)種也可以搭載電子束(EB)。
HSV-3-30G,HSV-8-50,HSV-12-80
是一種管狀爐式高溫?zé)酑VD裝置,適用于大學(xué)和研究機(jī)構(gòu)開(kāi)發(fā)石墨烯等碳?xì)浠衔锏母鞣N材料。小批量、小尺寸的測(cè)試件可以簡(jiǎn)單操作,實(shí)現(xiàn)了小型化,同時(shí)大幅降低了成本。
另外,具有以往小型產(chǎn)品難以實(shí)現(xiàn)的5 ~ 100pa壓力控制功能,可支持更多樣的處理模式。針對(duì)碳?xì)浠衔镱?lèi)可燃性氣體,配備了檢測(cè)報(bào)警停止機(jī)器運(yùn)行、大氣排放氣體稀釋單元等安全裝置。
SFCV-1001,SFCV-1003,SFCV-1501
研究開(kāi)發(fā)用卷爐是適合于研究開(kāi)發(fā),小批量生產(chǎn)的小型高性能卷模機(jī)。有等離子處理、濺射及蒸鍍單元。
高真空排氣裝置
本系統(tǒng)有渦輪分子泵和油擴(kuò)散泵兩種類(lèi)型,還準(zhǔn)備了油旋轉(zhuǎn)和干泵作為輔助泵,是一種能夠根據(jù)客戶的需求進(jìn)行選擇高真空排氣系統(tǒng)。
TPS-50ZA,TPS-50ZB,TS-50ZC,TPS-220ZA,TPA-220ZB,TPS-220ZC,DPS-2-ZA,DPS-2-ZB,DPS-3-ZA,DPS-3-ZB,DPS-4-ZA,DPS-4-ZB