KOBELCO神戶制鋼所DLC涂層設(shè)備UBMS202
UBMS202,UBMS504,UBMS707,AIP-S20,AIP-S40,AIP-S70, AIP-G60R,AIP-G70R
KOBELCO神戶制鋼所DLC涂層設(shè)備UBMS202
KOBELCO神戶制鋼所DLC涂層設(shè)備UBMS202
“UBMS(Unbalanced Magnetron Sputtering System)系列"主要作為“DLC(Diamond-Like Carbon)涂層"的涂層設(shè)備,深受零部件、工具和模具等各個(gè)行業(yè)客戶的喜愛。
“DLC涂層"的性質(zhì)很容易受涂層方法、處理溫度的影響,而我們憑借多年積累的經(jīng)驗(yàn)和知識(shí),成功解決了這個(gè)問題。
1.搭載自主研發(fā)的濺射蒸發(fā)源“UBMS系列"是一種搭載有神戶制鋼所自主研發(fā)蒸發(fā)源的濺射設(shè)備。通過優(yōu)化磁場(chǎng)配置,在涂層時(shí)強(qiáng)化等離子體,同時(shí)改善對(duì)于膜質(zhì)量控制非常重要的“離子輔助效果"??梢灾圃斐鼍哂辛己帽砻娲植诙鹊哪?。
2.也可利用PE-CVD方法進(jìn)行DLC涂層還可實(shí)現(xiàn)這樣的處理:先通過濺射形成可提高附著力的涂層,然后以PE-CVD方法涂層DLC膜。
PE-CVD方法:將氣體作為涂層原料的涂層技術(shù)。主要使用甲烷或乙炔涂層DLC膜。與UBMS方法相比,PE-CVD方法能夠以5倍以上的速度涂層,并且可在維持潤(rùn)滑特性的同時(shí)提高“生產(chǎn)效率",而這正是UBMS方法的問題所在。
UBMS202,UBMS504,UBMS707,