杭州諾榮測控技術有限公司
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更新時間：2022-11-09 10:02:26瀏覽次數(shù)：519次
聯(lián)系我時，請告知來自 儀表網(wǎng)1.1簡介采用工業(yè)相機配合視覺軟件實現(xiàn)MICRALIGN400,500,600,700系列光刻機的自動對位
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1.1 簡介
采用工業(yè)相機配合視覺軟件實現(xiàn)MICRALIGN 400,500,600,700系列光刻機的自動對位。改造后自動控制系統(tǒng)與機臺原有操控系統(tǒng)兼容，可自由切換。系統(tǒng)可接入車間生產(chǎn)管理平臺，自動下載工藝參數(shù)，上傳機臺動作數(shù)據(jù)。改造方便，性價比高。
1.2功能特點
1)實現(xiàn)自動獲取圖像，按照設定條件進行十字標識的位置獲??；
2)系統(tǒng)發(fā)出控制脈沖，模擬人手操作調節(jié)控制片平臺或版平臺移動；
3)對位精度在1um以內(nèi)，20S內(nèi)完成自動對位過程；
4)模擬曝光鍵、微調鍵功能；
5)人工調節(jié)操縱桿對位和自動視像對位功能切換；
6)實現(xiàn)智能自動對位規(guī)則、數(shù)據(jù)、圖片截圖保存；
7)記錄自動曝光片數(shù)、花籃位置、光刻版統(tǒng)計、樣片提醒功能；
8)可以根據(jù)設定的曝光片數(shù)加工，數(shù)量到達后發(fā)出報警并自動切換到人工對位。人工曝光完成后，再自動切換回自動對位曝光。
9)支持掃碼槍掃碼輸入，自動定位視像存儲和查詢，數(shù)據(jù)可上傳到MES系統(tǒng)，可以讀取MES系統(tǒng)數(shù)據(jù)實現(xiàn)自動錄單和光刻版號和批號的對比功能，識別加工設備、光刻版管理功能。
10)模擬設備上數(shù)字小鍵盤功能。（實現(xiàn)設定曝光量，調節(jié)機偏功能）。
11)報警功能：25S內(nèi)無法完成對位報警提示，大于75分貝語音提醒。
12)具有分級管理權限，使用界面和維修、工藝、程序界面隔離。
13)具有緊急停止中斷功能，具備緊急按鈕。
14)更換品種后對準識別圖形自動更換。
15)加工批次連接MES，建立文件夾自動儲存批次光刻版信息等加工信息以EXCEL文件保存，方便查詢。
16）實現(xiàn)250的機偏調整功能。
17）具備標識圖形和對準圖形的對準中心識別功能。
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