MKS640流量計(jì)   深圳市天鉉真空技術(shù)有限公司

CTI On Board低溫泵（冷凝泵）具有無油, 對(duì)所有氣體的抽速都較大, 特別是對(duì)水蒸汽、H2 等抽速很大, 適應(yīng)性強(qiáng), 制冷機(jī)低速運(yùn)行, 且運(yùn)動(dòng)部件很少, 有利于長(zhǎng)期可靠運(yùn)行等優(yōu)點(diǎn)。因而, 低溫泵(冷凝泵)被廣泛應(yīng)用于IC生產(chǎn)工藝中的蒸發(fā)、濺射、離子注入、分子束外延以及其它諸如高能粒子加速器、受控?zé)岷朔磻?yīng)、電真空器件、材料科學(xué)、表面分析儀器等領(lǐng)域, 以此來獲得清潔的高真空或超高真空。