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它是搭載有溫控閥的基本型號。
利用小型裝置的SEC-310，可以進行大于0.1SCCM的微小流量控制。并且，利用SEC-623可以進行小于200SLM的大流量控制。
高精度型號：SEC-405可以進行±0.5％F.S.的流量控制。
SEC-310 | |
氣體接觸部材質 | SUS-316、氟化橡膠 |
閥門類型 | NO: 非通電時：開； NC: 非通電時：關閉 |
標準流量量程 | 5/10/20/50/100/200/500 SCCM |
流量控制范圍 | 2?100％ F.S.(滿量程) |
流量精度 | ±1.0％ F.S.(滿量程) |
SEC-320 | |
氣體接觸部材質 | SUS-316、氟化橡膠 |
閥門類型 | NO: 非通電時：開 |
標準流量量程 | 5/10/20/50/100/200/500 SCCM |
流量控制范圍 | 2?100％ F.S.(滿量程) |
流量精度 | ±2.0％ F.S.(滿量程) |
SEC-405 | |
氣體接觸部材質 | SUS-316、氟化橡膠 |
閥門類型 | NO: 非通電時：開 |
標準流量量程 | 10/20/50/100/200/500 SCCM 1/2/3/5 SLM ：N2.Ar.H2.O2.CO2.CH4.C3H8 |
流量控制范圍 | 2?100％ F.S.(滿量程) |
流量精度 | ±0.5％ F.S.(滿量程) |
SEC-410 | |
氣體接觸部材質 | SUS-316、氟化橡膠 |
閥門類型 | NO: 非通電時：開 ；NC: 非通電時：關閉 |
標準流量量程 | 10/20/50/100/200/500 SCCM 1/2/3/5 SLM |
流量控制范圍 | 5?100％ F.S.(滿量程) |
流量精度 | ±1.0％ F.S.(滿量程) |
SEC-510 | |
氣體接觸部材質 | SUS-316、氟化橡膠 |
閥門類型 | NO: 非通電時：開 ；NC: 非通電時：關閉 |
標準流量量程 | 10/20 SLM |
流量控制范圍 | 5?100％ F.S.(滿量程) |
流量精度 | ±1.0％ F.S.(滿量程) |
SEC-510A | |
氣體接觸部材質 | SUS-316、氟化橡膠 |
閥門類型 | NO: 非通電時：開 ；NC: 非通電時：關閉 |
標準流量量程 | 30/50 SLM |
流量控制范圍 | 5?100％ F.S.(滿量程) |
流量精度 | ±1.0％ F.S.(滿量程) |
SEC-520A | |
氣體接觸部材質 | SUS-316、氟化橡膠 |
閥門類型 | NO: 非通電時：開 |
標準流量量程 | 30/50 SLM |
流量控制范圍 | 5?100％ F.S.(滿量程) |
流量精度 | ±2.0％ F.S.(滿量程) |
SEC-551 | |
氣體接觸部材質 | SUS-316、氟化橡膠 |
閥門類型 | NO: 非通電時：開 ；NC: 非通電時：關閉 |
標準流量量程 | 30/50/100 SLM |
流量控制范圍 | 5?100％ F.S.(滿量程) |
流量精度 | ±1.0％ F.S.(滿量程) |
SEC-552 | |
氣體接觸部材質 | SUS-316、バイトン |
閥門類型 | NO: 非通電時：開 |
標準流量量程 | 30/50/100 SLM |
流量控制范圍 | 5?100％ F.S.(滿量程) |
流量精度 | ±2.0％ F.S.(滿量程) |
SEC-610 | |
氣體接觸部材質 | SUS-316、氟化橡膠 |
閥門類型 | NO: 非通電時：開 |
標準流量量程 | 50/100/150 SLM |
流量控制范圍 | 10?100％ F.S.(滿量程) |
流量精度 | ±1.0％ F.S.(滿量程) |
SEC-620 | |
氣體接觸部材質 | SUS-316、氟化橡膠 |
閥門類型 | NO: 非通電時：開 |
標準流量量程 | 50/100/150 SLM |
流量控制范圍 | 10?100％ F.S.(滿量程) |
流量精度 | ±2.0％ F.S.(滿量程) |
SEC-623 | |
氣體接觸部材質 | SUS-316、氟化橡膠 |
閥門類型 | NO: 非通電時：開 |
標準流量量程 | 150/200 SLM (H2:300 SLM) |
流量控制范圍 | 10?100％ F.S.(滿量程) |
流量精度 | ±2.0％ F.S.(滿量程) |
SEC-400MK2 | |
氣體接觸部材質 | SUS-316、氟化橡膠 |
閥門類型 | NO: 非通電時：開 |
標準流量量程 | 10/20/50/100/200/500 SCCM 1/2/3/5 SLM |
流量控制范圍 | 5?100％ F.S.(滿量程) |
流量精度 | ±2.0％ F.S.(滿量程) |
SEC-500MK2 | |
氣體接觸部材質 | SUS-316、氟化橡膠 |
閥門類型 | NO: 非通電時：開 |
標準流量量程 | 10/20 SLM |
流量控制范圍 | 5?100％ F.S.(滿量程) |
流量精度 | ±2.0％ F.S.(滿量程) |
SEC-400MK3 | |
氣體接觸部材質 | SUS-316、氟化橡膠 |
閥門類型 | NO: 非通電時：開 |
標準流量量程 | 10/20/50/100/200/500 SCCM 1/2/3/5 SLM ：空氣.N2.O2.Ar.H2.He |
流量控制范圍 | 5?100％ F.S.(滿量程) |
流量精度 | ±2.0％ F.S.(滿量程) |
SEC-500MK3 | |
氣體接觸部材質 | SUS-316、氟化橡膠 |
閥門類型 | NO: 非通電時：開 |
標準流量量程 | 10/20 SLM ：空氣.N2.O2.Ar.H2.He |
流量控制范圍 | 5?100％ F.S.(滿量程) |
流量精度 | ±2.0％ F.S.(滿量程) |
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