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深圳市天鉉真空技術(shù)有限公司
中級(jí)會(huì)員 | 第3年

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SEC-E50質(zhì)量流量控制器

參  考  價(jià)面議
具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)

產(chǎn)品型號(hào)

品       牌

廠商性質(zhì)經(jīng)銷商

所  在  地

更新時(shí)間:2023-10-14 19:43:01瀏覽次數(shù):877次

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概要它是搭載有溫控閥的基本型號(hào)

概要

它是搭載有溫控閥的基本型號(hào)。
利用小型裝置的SEC-310,可以進(jìn)行大于0.1SCCM的微小流量控制。并且,利用SEC-623可以進(jìn)行小于200SLM的大流量控制。
高精度型號(hào):SEC-405可以進(jìn)行±0.5%F.S.的流量控制。

特征

  •  可對(duì)應(yīng)±0.5F.S.SEC-405(氣體種類限定)
  • 同系列產(chǎn)品,從0.1CCM200SLM(N2)都可進(jìn)行流量控制
  • 實(shí)現(xiàn)面間距離106mm: SEC-300型式

規(guī)格

 

SEC-310

 

氣體接觸部材質(zhì)

SUS-316、氟化橡膠

閥門(mén)類型

NO: 非通電時(shí):開(kāi); NC: 非通電時(shí):關(guān)閉

標(biāo)準(zhǔn)流量量程

5/10/20/50/100/200/500 SCCM

流量控制范圍

2?100% F.S.(滿量程)

流量精度

±1.0% F.S.(滿量程)

SEC-320

 

氣體接觸部材質(zhì)

SUS-316、氟化橡膠

閥門(mén)類型

NO: 非通電時(shí):開(kāi)

標(biāo)準(zhǔn)流量量程

5/10/20/50/100/200/500 SCCM

流量控制范圍

2?100% F.S.(滿量程)

流量精度

±2.0% F.S.(滿量程)

SEC-405

 

氣體接觸部材質(zhì)

SUS-316、氟化橡膠

閥門(mén)類型

NO: 非通電時(shí):開(kāi)

標(biāo)準(zhǔn)流量量程

10/20/50/100/200/500 SCCM 1/2/3/5 SLM :N2.Ar.H2.O2.CO2.CH4.C3H8

流量控制范圍

2?100% F.S.(滿量程)

流量精度

±0.5% F.S.(滿量程)

SEC-410

 

氣體接觸部材質(zhì)

SUS-316、氟化橡膠

閥門(mén)類型

NO: 非通電時(shí):開(kāi) ;NC: 非通電時(shí):關(guān)閉

標(biāo)準(zhǔn)流量量程

10/20/50/100/200/500 SCCM 1/2/3/5 SLM

流量控制范圍

5?100% F.S.(滿量程)

流量精度

±1.0% F.S.(滿量程)

SEC-510

 

氣體接觸部材質(zhì)

SUS-316、氟化橡膠

閥門(mén)類型

NO: 非通電時(shí):開(kāi) ;NC: 非通電時(shí):關(guān)閉

標(biāo)準(zhǔn)流量量程

10/20 SLM

流量控制范圍

5?100% F.S.(滿量程)

流量精度

±1.0% F.S.(滿量程)

SEC-510A

 

氣體接觸部材質(zhì)

SUS-316、氟化橡膠

閥門(mén)類型

NO: 非通電時(shí):開(kāi) ;NC: 非通電時(shí):關(guān)閉

標(biāo)準(zhǔn)流量量程

30/50 SLM

流量控制范圍

5?100% F.S.(滿量程)

流量精度

±1.0% F.S.(滿量程)

SEC-520A

 

氣體接觸部材質(zhì)

SUS-316、氟化橡膠

閥門(mén)類型

NO: 非通電時(shí):開(kāi)

標(biāo)準(zhǔn)流量量程

30/50 SLM

流量控制范圍

5?100% F.S.(滿量程)

流量精度

±2.0% F.S.(滿量程)

SEC-551

 

氣體接觸部材質(zhì)

SUS-316、氟化橡膠

閥門(mén)類型

NO: 非通電時(shí):開(kāi) ;NC: 非通電時(shí):關(guān)閉

標(biāo)準(zhǔn)流量量程

30/50/100 SLM

流量控制范圍

5?100% F.S.(滿量程)

流量精度

±1.0% F.S.(滿量程)

SEC-552

 

氣體接觸部材質(zhì)

SUS-316、バイトン

閥門(mén)類型

NO: 非通電時(shí):開(kāi)

標(biāo)準(zhǔn)流量量程

30/50/100 SLM

流量控制范圍

5?100% F.S.(滿量程)

流量精度

±2.0% F.S.(滿量程)

SEC-610

 

氣體接觸部材質(zhì)

SUS-316、氟化橡膠

閥門(mén)類型

NO: 非通電時(shí):開(kāi)

標(biāo)準(zhǔn)流量量程

50/100/150 SLM

流量控制范圍

10?100% F.S.(滿量程)

流量精度

±1.0% F.S.(滿量程)

SEC-620

 

氣體接觸部材質(zhì)

SUS-316、氟化橡膠

閥門(mén)類型

NO: 非通電時(shí):開(kāi)

標(biāo)準(zhǔn)流量量程

50/100/150 SLM

流量控制范圍

10?100% F.S.(滿量程)

流量精度

±2.0% F.S.(滿量程)

SEC-623

 

氣體接觸部材質(zhì)

SUS-316、氟化橡膠

閥門(mén)類型

NO: 非通電時(shí):開(kāi)

標(biāo)準(zhǔn)流量量程

150/200 SLM (H2:300 SLM)

流量控制范圍

10?100% F.S.(滿量程)

流量精度

±2.0% F.S.(滿量程)

SEC-400MK2

 

氣體接觸部材質(zhì)

SUS-316、氟化橡膠

閥門(mén)類型

NO: 非通電時(shí):開(kāi)

標(biāo)準(zhǔn)流量量程

10/20/50/100/200/500 SCCM 1/2/3/5 SLM

流量控制范圍

5?100% F.S.(滿量程)

流量精度

±2.0% F.S.(滿量程)

SEC-500MK2

 

氣體接觸部材質(zhì)

SUS-316、氟化橡膠

閥門(mén)類型

NO: 非通電時(shí):開(kāi)

標(biāo)準(zhǔn)流量量程

10/20 SLM

流量控制范圍

5?100% F.S.(滿量程)

流量精度

±2.0% F.S.(滿量程)

SEC-400MK3

 

氣體接觸部材質(zhì)

SUS-316、氟化橡膠

閥門(mén)類型

NO: 非通電時(shí):開(kāi)

標(biāo)準(zhǔn)流量量程

10/20/50/100/200/500 SCCM 1/2/3/5 SLM :空氣.N2.O2.Ar.H2.He

流量控制范圍

5?100% F.S.(滿量程)

流量精度

±2.0% F.S.(滿量程)

SEC-500MK3

 

氣體接觸部材質(zhì)

SUS-316、氟化橡膠

閥門(mén)類型

NO: 非通電時(shí):開(kāi)

標(biāo)準(zhǔn)流量量程

10/20 SLM :空氣.N2.O2.Ar.H2.He

流量控制范圍

5?100% F.S.(滿量程)

流量精度

±2.0% F.S.(滿量程)

 

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