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概要

所謂質(zhì)量流量控制器是一種計(jì)測(cè)和控制流體流量的裝置。流體的流量計(jì)測(cè)通常可分為體積流量和質(zhì)量流量。體積流量由于受到計(jì)測(cè)時(shí)環(huán)境溫度和壓力的影響，如需要準(zhǔn)確測(cè)定時(shí)，必須對(duì)溫度和壓力進(jìn)行調(diào)整。而質(zhì)量流量計(jì)在測(cè)定流體質(zhì)量的時(shí)候，不容易受到環(huán)境溫度和壓力等外在因素的影響而能準(zhǔn)確地進(jìn)行流體測(cè)量。在必須對(duì)流量進(jìn)行精確計(jì)測(cè)和控制的領(lǐng)域，質(zhì)量流量控制器被廣泛的使用，例如半導(dǎo)體工業(yè)、太陽(yáng)能光電工業(yè)和微加工制造業(yè)等。

技術(shù)參數(shù)

型號(hào)	SEC- (質(zhì)量流量控制器)	E60	E70	E80
型號(hào)	SEF- (質(zhì)量流量計(jì))	E60	E70	E80
適用氣體種類(lèi)*1		N₂、O₂、Air、H₂、Ar、C₃H₈、CH₄、C₄H₁₀		N₂、O₂、Air、H₂
氣體接觸部材質(zhì)		SUS316.氟化橡膠、磁性不銹鋼
閥門(mén)型號(hào)		非通電時(shí)　關(guān)閉
標(biāo)準(zhǔn)流量量程 (N2相應(yīng)F.S.)		50/100 SLM	200 SLM	300/500 SLM
流量控制范圍 (適于SEC系列)		5?99% F.S.
流量測(cè)量范圍 (適于SEF系列)		0?99% F.S.
響應(yīng)速度		1秒以內(nèi)(T98)		2秒以內(nèi)(T98)
流量精度		±1% F.S.		±2% F.S.
直線性		±0.5% F.S.		±1% F.S.
反復(fù)性		±0.5% F.S.		±1% F.S.
工作差壓值值(適于SEC系列)		100?300kPa(d)	200?350kPa(d)
使用壓力 (適于SEF系列)		350kPa(G)以下
耐　壓		1MPa(G)以下
外部泄漏率		1×10^-7Pa?m³/s(He)以下		450kPa(G)加壓10分鐘減壓1%以內(nèi)
使用環(huán)境溫度		5?45℃(精度的確保：15?35℃)
流量設(shè)定信號(hào)		0.25?5VDC(輸入阻抗1MΩ以上)/5?99% F.S.
流量輸出信號(hào)		0?5VDC(最小負(fù)荷電阻2kΩ)
驅(qū)動(dòng)電源		＋15VDC ±5% 50mA −15VDC ±5% 200mA 3.9VA
標(biāo)準(zhǔn)接頭*2		3/8SWL 類(lèi)型		1/2SWL 類(lèi)型

*1:關(guān)于記載以外的氣體種類(lèi)，請(qǐng)另行咨詢協(xié)商。
*2也可以適用標(biāo)準(zhǔn)接頭以外的接頭。請(qǐng)另行咨詢協(xié)商。
※SEC-E40/E50/E40MK3/E50MK3搭載有自動(dòng)清零功能。
※入口壓力是SEC-E40/50/60/E40MK3/E50MK3：值300kPa(G)；SEC-70/80：值350kPa(G)以下。
※ SCCM、SLM是表示氣體的流量單位(mL/min、L/min、at、0℃、101.3kPa)的記號(hào)。