MARK3系列是在未改變質(zhì)量流量控制器所必須的品質(zhì)特性的條件下*實(shí)現(xiàn)成本降低的量產(chǎn)產(chǎn)品。材質(zhì)和泄漏規(guī)格則與一般型號(hào)產(chǎn)品的SEC-400、SEC-500系列*一致。主要用途為制程用的氣體流量控制、根據(jù)重點(diǎn)關(guān)注于重復(fù)性以及限定氣體的種類(lèi)、流量進(jìn)行大量生產(chǎn)、實(shí)現(xiàn)了大幅度的成本降低。于定流量、長(zhǎng)時(shí)間的穩(wěn)定控制重復(fù)控制的場(chǎng)合。而且也同樣適用于研究所的簡(jiǎn)易流量控制。

• 搭載熱感閥
• 追求成本優(yōu)勢(shì)、實(shí)現(xiàn)成本降低

 

SEC-400MK3
氣體接觸部材質(zhì)	SUS-316、氟化橡膠
閥門(mén)類(lèi)型	NO: 非通電時(shí)：開(kāi)
標(biāo)準(zhǔn)流量量程	10/20/50/100/200/500 SCCM 1/2/3/5 SLM ：空氣.N2.O2.Ar.H2.He
流量控制范圍	5?100％ F.S.(滿量程)
流量精度	±2.0％ F.S.(滿量程)

SEC-500MK3
氣體接觸部材質(zhì)	SUS-316、氟化橡膠
閥門(mén)類(lèi)型	NO: 非通電時(shí)：開(kāi)
標(biāo)準(zhǔn)流量量程	10/20 SLM ：空氣.N2.O2.Ar.H2.He
流量控制范圍	5?100％ F.S.(滿量程)
流量精度	±2.0％ F.S.(滿量程)