Metrology Sensors GmbH開(kāi)發(fā)和制造優(yōu)秀技術(shù)，以提高顯微鏡自動(dòng)化和AOI系統(tǒng)的吞吐量和質(zhì)量。MSG的解決方案包括用于2D和3D表面的高速自動(dòng)對(duì)焦系統(tǒng)、尺寸測(cè)量傳感器、電機(jī)控制和光電組件。MSG的技術(shù)應(yīng)用于各種行業(yè)，包括半導(dǎo)體、晶圓和電子產(chǎn)品的自動(dòng)光學(xué)檢測(cè)、顯示檢測(cè)和修復(fù)系統(tǒng)以及生物醫(yī)學(xué)視覺(jué)系統(tǒng)。
MSG為其發(fā)揮的關(guān)鍵作用感到自豪，無(wú)論是在基礎(chǔ)研究、提高生產(chǎn)效率還是通過(guò)直接向終用戶提供解決方案進(jìn)行質(zhì)量檢查，還是為OEM供應(yīng)商提供嵌入式技術(shù)。
德國(guó)MSG傳感器、伺服驅(qū)動(dòng)器、控制器◆自動(dòng)對(duì)焦傳感器:基于激光的焦點(diǎn)跟蹤系統(tǒng)LAF傳感器旨在實(shí)現(xiàn)光學(xué)檢測(cè)設(shè)備和工業(yè)顯微鏡的實(shí)時(shí)焦點(diǎn)跟蹤。該傳感器廣泛用于平板顯示器、電子器件和半導(dǎo)體的AOI系統(tǒng)
我們的技術(shù)可實(shí)現(xiàn)以下焦點(diǎn)跟蹤:
無(wú)圖案表面
具有高對(duì)比度變化的圖案表面
具有高倍率透鏡的小結(jié)構(gòu)
獨(dú)te功能:
混合激光/圖像跟蹤
三明治基板的多表面聚焦
自動(dòng)設(shè)置
參考型號(hào):LAF4、LAF5、LAF5-CH
LAF5直線激光自動(dòng)聚焦跟蹤系統(tǒng):
用于自動(dòng)光學(xué)檢測(cè)(AOI)系統(tǒng)和工業(yè)顯微鏡的自動(dòng)聚焦和跟蹤
傳感器投射一條激光線聚焦在樣品上

適用于放大倍率為2倍至100倍的無(wú)限校正透鏡，可見(jiàn)光，近紅外、NUV、DUV

UI界面和軟件庫(kù)
德國(guó)MSG傳感器、伺服驅(qū)動(dòng)器、控制器◆電機(jī)驅(qū)動(dòng)器接口:
為了能夠?qū)SG的自動(dòng)對(duì)焦傳感器快速簡(jiǎn)單地集成到現(xiàn)有的機(jī)器設(shè)計(jì)中，MSG為步進(jìn)電機(jī)和伺服電機(jī)驅(qū)動(dòng)器提供了優(yōu)化的控制，以實(shí)現(xiàn)佳性能的閉環(huán)系統(tǒng)。
LAF-C2電機(jī)接口
LAF-C3電機(jī)接口與照明端口
◇>LAF-C2用于LAF自動(dòng)聚焦和跟蹤傳感器的步進(jìn)/伺服電機(jī)驅(qū)動(dòng)接口
單個(gè)連接到LAF傳感器，從MSG自動(dòng)對(duì)焦到您的機(jī)器的所有連接都通過(guò)LAF-C2
雙向脈沖輸出電流源，用于驅(qū)動(dòng)步進(jìn)/伺服驅(qū)動(dòng)器的光隔離器
高質(zhì)量聚焦信號(hào)的模擬輸出
可選:
模擬輸出給出距離信號(hào)或具有未來(lái)的可配置速度信號(hào)
固件發(fā)布(控制伺服驅(qū)動(dòng)器)
限位開(kāi)關(guān)和安全停止的輸入
RS232，用于與PC進(jìn)行傳感器通信
LAF5S-C2:1xLAF5傳感器&1xLAF-C2步進(jìn)/伺服驅(qū)動(dòng)控制器。
德國(guó)MSG、MSG傳感器、MSG伺服驅(qū)動(dòng)器、MSG控制器