● Z軸通過(guò)電動(dòng)手脈進(jìn)行精準(zhǔn)控制（對(duì)焦精度可達(dá)0.0005mm）

● 快速釋放裝置便于測(cè)量工件大或測(cè)量工件數(shù)量多的快速移動(dòng)工作臺(tái)

● 高位目鏡觀察

● 千兆網(wǎng)口CCD圖像成像(HKVISION-300萬(wàn)像素)

晶圓高度測(cè)量?jī)x技術(shù)參數(shù)

3.1主體規(guī)格

◆X坐標(biāo)行程:    200（mm）

◆Y坐標(biāo)行程：   100（mm）

◆Z坐標(biāo)行程:    150（mm）
◆X、Y坐標(biāo)測(cè)量示值誤差≤（3+L/150）µm ，L為被測(cè)長(zhǎng)度(單位：mm)
◆X、Y、Z數(shù)顯分辨率：0.001mm  
◆輪廓光源：綠色LED平行光源，無(wú)極亮度可調(diào)

◆上光源：白色LED環(huán)形可調(diào)光源

3.2目視系統(tǒng)
◆雙目視鏡筒+標(biāo)準(zhǔn)的TV攝像機(jī)端口

◆物鏡：1.0-6.5X可連續(xù)變倍物鏡

◆目鏡放大倍數(shù)：10X，單雙目同，可選配20X
◆總放大倍數(shù)：  10X-65X（包括畸變?cè)趦?nèi)的）
◆物鏡放大倍數(shù)誤差：放大率誤差范圍在0.08%內(nèi)
3.3影像系統(tǒng)
◆標(biāo)配CCD相機(jī)1X鏡筒

◆CCD：千兆網(wǎng)口高清晰攝像頭（HKVISION）
◆綜合影像放大倍數(shù)：45X-1000X

晶圓高度測(cè)量?jī)x軟件功能

1.產(chǎn)品介紹

公司推廣出的Z軸電動(dòng)手脈金相測(cè)量顯微鏡，使用專業(yè)訂制的高精準(zhǔn)細(xì)分脈沖金相測(cè)量電機(jī)，通過(guò)設(shè)置多種脈沖細(xì)分量和機(jī)構(gòu)上的精準(zhǔn)調(diào)校，可以實(shí)現(xiàn)快中慢三檔調(diào)速來(lái)控制Z軸光學(xué)鏡頭上下移動(dòng)；

而在選擇低速檔時(shí)，我們讓電機(jī)脈沖量的最小化設(shè)置跟傳動(dòng)機(jī)構(gòu)的調(diào)校，可以保證Z軸上下移動(dòng)時(shí)，精細(xì)到0.5UM-1UM（甚至更低的分辨率）每格（手脈刻度），而有效地杜絕了了目前市場(chǎng)上主流金相測(cè)量顯微鏡在高倍率使用下的通病不再發(fā)生（高倍下無(wú)法定準(zhǔn)對(duì)焦面，使用手動(dòng)Z軸調(diào)焦齒輪打滑等等現(xiàn)象?。?/p>

◆Z軸電動(dòng)手脈金相測(cè)量顯微鏡集軟件、光、機(jī)、電為一體，是高精度、高效率的測(cè)量顯微鏡；

◆Z軸電動(dòng)手脈金相測(cè)量顯微鏡是觀察、測(cè)量和處理系統(tǒng)化的顯微鏡陣容;

◆Z軸電動(dòng)手脈金相測(cè)量顯微鏡可以作為觀察顯微鏡，用相對(duì)量測(cè)法檢查工件表面形狀等非接觸

測(cè)量為目的各種精密加工業(yè)，是計(jì)量室、實(shí)驗(yàn)室以及生產(chǎn)車間*的計(jì)量檢測(cè)設(shè)備之一。