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日本科賦樂流量計-迷你型氣體發(fā)生機(jī) 氮?dú)獍l(fā)生器
日本科賦樂微小流量質(zhì)量流量計
日本KOFLOC
3100系列質(zhì)量流量計-微小流量
應(yīng)用于多個OEM設(shè)備場合，尤其適合微小流量測量
適用于燃?xì)獾蛪毫Α⑿孤y試的低流量、半導(dǎo)體等使用
±15VDC供電性能穩(wěn)定，0-5V模擬信號更加通用
可定制0.02-1SCCM微小流量
日本科賦樂微小流量質(zhì)量流量計
| 量程(N2) | 1SCCM-20SLPM、小0.02-1SCCM |
| 精度 | ±1.0%FS |
| 重復(fù)性 | ±0.2%FS |
| 響應(yīng)時間 | 1秒以內(nèi) |
| 耐壓 | 1.0Mpa |
| 進(jìn)口大壓力 | O.5Mpa |
| 泄漏率 | 1*10-8pa·m³/s以下 |
| 溫度范圍 | 5-45℃ |
| 濕度范圍 | 10-90%RH(不能結(jié)露) |
| 材質(zhì) | 本體SUS316L |
| 密封圈NBR、PTFE、FKM等 | |
| 電氣接口 | DB9 |
| 模擬信號 | 0-5V輸出 |
| 供電 | +15VDC(±5%)100mA；-15VDC(±5%)100mA； |
| 管路連接 | 標(biāo)配1/4F9 |
| 選配1/8F9、1/4UJR、RC1/4 | |
| 重量 | 約800g |
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