日本KOFLOC 5410系列質(zhì)量流量計-金屬密封

概述：

金屬密封，泄漏率1*10-11pa·m³/s以下

適用于高真空、半導(dǎo)體、劇毒、強腐蝕氣體環(huán)境下

±15VDC供電性能穩(wěn)定，0-5V模擬信號更加通用

日本KOFLOC 5410系列質(zhì)量流量計-金屬密封

特點：

• 提高每個流量范圍的精度
• 適用于微流量（選項規(guī)格）
• 由于無焊接結(jié)構(gòu)（VCR規(guī)格），金屬密封，泄漏低
• 價格便宜

 性能參數(shù)：

電器連接：

 使用注意事項：

一：進氣管道上建議安裝上的過濾器、油水分離器使用，保證氣體的干燥干凈《濕度不超過90%(一定不能進水)、雜質(zhì)粉塵不超過20微米》。

二：用肥皂水對管路進行泄漏檢測時，只能將肥皂水噴灑在管路接頭上，不能噴在儀表或電氣插頭上。

三：安裝前，請將設(shè)備管路進行整體吹掃。

四：耐壓1.0Mpa，進口大壓力5公斤。

五：需要進行零點漂移清零的時候，確認(rèn)進/出口沒流量沒壓力下 再操作。