411型號加速度傳感器基于的壓阻MEMS傳感技 術(shù)元件加工，提供出色的動態(tài)范圍和穩(wěn)定性。這種壓阻 加速度傳感器是為沖擊測量而設(shè)計的堅固型無阻尼測 量裝置。內(nèi)置蝕刻硅芯片布置了包含慣性質(zhì)量塊和應(yīng) 變計的主動四臂惠斯通橋電路。該元件的質(zhì)量輕、極小 的尺寸和的結(jié)構(gòu)可以提供高共振頻率，同時具有 低阻抗、高過載、低相移和零阻尼等特性。該類型傳感 器的高諧振頻率特點使得它們在高沖擊脈沖后的高頻 信號下不會共振損壞，相反具有較低諧振頻率的加速 度傳感器就可能會遭到破壞。高諧振頻率和零阻尼也 允許加速度傳感器響應(yīng)快速信號、短持續(xù)時間的激波 運動。同時該傳感器頻率響應(yīng)可以向下擴展到靜態(tài)或 低頻加速度，因此該傳感器也是測量長時間變化信號 的理想選擇。411型采用了堅固可靠的結(jié)構(gòu)，大大降低 了電纜接線和沖擊損壞的概率。