當前位置:武漢普賽斯儀表有限公司>>半導體器件測試儀器儀表>>源表應(yīng)用>> S100/S200/S300國產(chǎn)源表搭建晶體管IV特性測試實驗
數(shù)字源表IV測試光耦/mos靜態(tài)電特性參數(shù)
數(shù)字源表IV掃描光耦/mos靜態(tài)電特性參數(shù)
產(chǎn)地 | 國產(chǎn) | 加工定制 | 否 |
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半導體分立器件是組成集成電路的基礎(chǔ),包含大量的雙端口或三端口器件,如二極管,晶體管,場效應(yīng)管等。 直流I-V測試是表征微電子器件工藝及材料特性的基礎(chǔ),通常使用I-V特性分析或I-V曲線來決定器件的基本參數(shù)。
分立器件I-V特性測試的主要目的是通過實驗幫助工程師提取半導體器件的基本I-V特性參數(shù),并在整個工藝流程結(jié)束后評估器件的優(yōu)劣。在半導體制程的多個階段都有應(yīng)用,如金屬互連,鍍層階段,芯片封裝后的測試等。
普賽斯儀表開發(fā)的國產(chǎn)源表搭建晶體管IV特性測試實驗平臺,由一臺或兩臺源精密源測量單元(SMU)、夾具或探針臺、上位機軟件構(gòu)成。以三端口MOSFET器件為例,配套以下設(shè)備:
兩臺S型數(shù)字源表
四根三同軸電纜
夾具或帶有三同軸接口的探針臺
三同軸T型頭
需要測試的參數(shù):
輸出特性曲線
轉(zhuǎn)移特性曲線
跨導 gm
擊穿電壓 BVDS
需要儀器列表:
SMU 源表
探針臺或夾具
普賽斯上位機軟件
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