FTPA20O0-SC系列濕法過程分析儀(WPA)最多可監(jiān)測8個浴槽。浴槽可在單個或多個機臺上使用并且可監(jiān)控相同或不同的化學藥液。WPA可以安裝在浴槽100米(328英尺)內(nèi)任何位置，通過Modbus，以太網(wǎng)或4-20mA模擬輸出進行通訊。WPA除了能夠顯示過程中監(jiān)測的各個性質(zhì)值及其趨勢外，還能夠自動存儲數(shù)據(jù)，當數(shù)值超出許可范圍時，軟件會發(fā)出警告或報警。

二、遠程分析

過程控制可實時監(jiān)控浴槽藥液濃度并及時控制藥液的補加，是一種有效的減少偏移事件和減少化學藥液用量的方法。WPA是一個基于FT-IR傅立葉紅外技術(shù)的低漂移系統(tǒng)，叉骨雙懸臂角鏡式干涉儀的高抗震性和準直以及激光控制計量的高度穩(wěn)定性，可實現(xiàn)可靠穩(wěn)定的過程控制。

三、產(chǎn)品特點

1. 可對濕法化學過程進行精確、實時的在線監(jiān)測。

2. 非接觸式測量。

3. 快速測量(<1分鐘)，接受多種通訊協(xié)議。

4. 多流路分析(最多可達8個流路)。

5. 多組分分析（每個流路可切換多種配方工藝藥液）

6. 可通過光纖實現(xiàn)遠程監(jiān)測，儀器外型尺寸小。

7. 傅立葉紅外擁有良好的穩(wěn)定性和可靠性。

四、產(chǎn)品優(yōu)勢

1. 延長藥液使用壽命，減少化學品消耗，無離線實驗室分析所需的停工期，從而節(jié)約生產(chǎn)費用。

2. 無化學品損耗，無污染風險，安裝時無需停工。

3. 實時過程控制。

4. 每一監(jiān)控點分析成本低。

5. 增強了技術(shù)要求很嚴格的場合的過程分析性能，減少晶片的清洗次數(shù)。

6. 靈活的安裝選擇。

7. 無漂移，維護量低。