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1、工作真空度范圍：

真空泵的工作真空度應(yīng)該滿足真空設(shè)備的極限真空及工作真空度要求。通常，選擇泵的真空度要高于真空設(shè)備真空度半個(gè)到一個(gè)數(shù)量級(jí)。例如：某真空冷凍干燥工藝要求2*10²Pa的工作真空度，選用的真空泵的極限真空度至少要40Pa，最好能達(dá)到20Pa以上。

每種泵都有一定的工作真空度范圍。因而真空泵的工作范圍應(yīng)該選在這個(gè)范圍之內(nèi)，而不能讓它在允許工作真空度以外長時(shí)間工作。應(yīng)盡可能要求真空泵在高效區(qū)內(nèi)，也就是在臨界真空度或臨界排氣真空度之間的區(qū)域內(nèi)運(yùn)行。例如：某真空泵工作真空度范圍1*10⁵Pa（大氣壓）~3.3*10³Pa，但是其穩(wěn)定的工作真空度范圍為1*10⁵Pa（大氣壓）~8*10³Pa，所以泵的工作范圍應(yīng)該選在1*10⁵Pa（大氣壓）~8*10³Pa范圍之內(nèi)較為適宜，不能讓它在3.3*10³Pa左右長期工作。

應(yīng)避免在最大真空度或最大排氣真空度附近運(yùn)行。在此區(qū)域內(nèi)運(yùn)行，不僅效率極低，而且工作很不穩(wěn)定，容易產(chǎn)生振動(dòng)和噪音。對(duì)于真空度較高的真空泵而言，在此區(qū)域之內(nèi)運(yùn)行，泵內(nèi)往往出現(xiàn)噪音和振動(dòng)，導(dǎo)致泵無法正常工作甚至損壞。

2、排氣量：

要根據(jù)氣量和真空度選擇合適的真空泵。要保證生產(chǎn)所要求的真空度或在其工作真空度下排走真空設(shè)備工藝過程中產(chǎn)生的全部氣體量。

3、抽氣體成分：

選擇真空泵時(shí)，需要知道氣體成分，氣體中含不含可凝蒸汽，有無顆?；覊m，有無腐蝕性等。針對(duì)被抽氣體選擇相應(yīng)的泵。如果氣體中含有蒸汽、顆粒及腐蝕性氣體，應(yīng)該考慮在泵的進(jìn)氣口管路上安裝輔助設(shè)備，如冷凝器、除塵器等。

4、真空泵的采購價(jià)格、運(yùn)轉(zhuǎn)及維修費(fèi)用：

在使用許可的情況之下，應(yīng)盡量選用耐用可靠、性價(jià)比合理的真空泵。

選擇真空泵時(shí)，不但要考慮采購價(jià)格，更重要的是考慮運(yùn)轉(zhuǎn)以及維修費(fèi)用、生產(chǎn)出成品的成品率。例如，采用無油渦旋真空泵，鍍膜成品率可以提高3%~5%，優(yōu)勢(shì)非常明顯。

5、正確地組合真空泵：

由于真空泵有選擇性抽氣，因而，有時(shí)選用一種泵不能滿足抽氣要求，需要幾種泵組合起來，互相補(bǔ)充才能滿足抽氣要求。如鈦升華泵對(duì)氫有很高的抽速，但不能抽氦，而三極型濺射離子泵，（或二極型非對(duì)稱陰極濺射離子泵）對(duì)氬有一定的抽速，兩者組合起來，便會(huì)使真空裝置得到較好的真空度。另外，有的真空泵不能在大氣壓下工作，需要預(yù)真空，例如分子泵、離子泵等，需要前級(jí)泵，故都需要把泵組合成為真空機(jī)組使用。

6、真空設(shè)備對(duì)油污染的要求：

如果設(shè)備嚴(yán)格要求無油時(shí)，或者環(huán)境不允許有污染，應(yīng)該選各種無油泵，如：無油渦旋真空泵、磁懸浮分子泵、分子篩吸附泵、濺射離子泵、低溫泵等。