技術(shù)參數(shù)

　　1.加熱元件：進(jìn)口KTL電阻絲。

　　2.加熱區(qū)數(shù)量：5-8區(qū)(可根據(jù)需求定制)，實(shí)現(xiàn)一個(gè)溫曲兩點(diǎn)控制，使溫場(chǎng)更均勻。

　　3.升華區(qū)溫度：室溫至800℃，連續(xù)可調(diào)。

　　保溫區(qū)溫度：室溫至400℃可調(diào);恒溫溫度隨時(shí)間和空間波動(dòng)不大于±1℃(測(cè)試方法符合國(guó)家計(jì)量標(biāo)準(zhǔn)JJF 1184-2007)。

　　4.升華舟容積：0.5～10克，50～500克，500～2000克。

　　5.控溫方式：人機(jī)界面加PLC控制，10寸液晶屏控制，數(shù)字工控儀表雙控，采用工業(yè)智能控溫儀表和軟件實(shí)現(xiàn)雙控，采用模糊型PID控制。

　　6.無(wú)紙記錄：內(nèi)置存儲(chǔ)記錄運(yùn)行工藝數(shù)據(jù)，外接USB接口，可以電腦連接一鍵拷貝數(shù)據(jù)。

　　7.結(jié)構(gòu)描述：①設(shè)備可電動(dòng)對(duì)半開(kāi)啟，自動(dòng)控制冷卻降溫系統(tǒng).實(shí)現(xiàn)可控冷卻速度.

　?、谠谶M(jìn)料端配備2路高精度質(zhì)量流量計(jì)系統(tǒng)，準(zhǔn)確控制氣體流量，可以實(shí)現(xiàn)生產(chǎn)工藝拓展和調(diào)整。

　?、巯到y(tǒng)采用自動(dòng)化工藝流程，設(shè)定好工藝一鍵操作,降低人為因素，工藝可靠性可達(dá)到99.9%。

　　8.過(guò)濾方式：系統(tǒng)采用三級(jí)過(guò)濾保護(hù)裝置，分別采用5級(jí)微孔金屬濾網(wǎng)、2套液氮內(nèi)嵌式冷凝、90度直角臺(tái)階式過(guò)濾。

　　9.外管尺寸Φ210X2000mm，腔體采用三層石英管裝置，可以自動(dòng)進(jìn)出料，結(jié)構(gòu)可保證真空室管不受污染，保持較高的真空度。中層管取料方便，易于清洗，內(nèi)層料管分段升華后各段料容易區(qū)分，能限度的保證產(chǎn)品和純度和產(chǎn)率(升華率97%，與材料和配置有關(guān))。

　　10.腔體采用內(nèi)控溫和外控溫相互切換，防止石英折射和散射造成的溫場(chǎng)不均勻現(xiàn)象。

　　11.設(shè)備的正面端面都采用石英密封觀察窗，可以觀察生產(chǎn)中材料的提純情況，配上攝像系統(tǒng)可實(shí)現(xiàn)生產(chǎn)升華過(guò)程全監(jiān)控和記錄。

　　12.抽真空端采用了主管直徑200mm的分子泵直連，確保實(shí)驗(yàn)中高真空的需求，在直徑200mm直管中間加插板閥，插板閥的兩端加直徑3mm細(xì)管多孔旁抽支路，防止在初真空時(shí)抽速太大影響分子擴(kuò)散的方向，導(dǎo)致材料不均勻。

　　13.前級(jí)機(jī)械泵 60m³/h,分子泵抽速160L/S。

　　本底真空：機(jī)械泵系統(tǒng)：1Pa 分子泵系統(tǒng)10-4Pa。

　　多種異形內(nèi)管可以選購(gòu)