加熱區(qū)參數(shù)

 爐管尺寸：外徑Φ25/50*600mm (管徑可選)

 加熱元件；電阻絲（Fe-Cr-Al Alloy doped by Mo）
 加熱區(qū)長度：230mm

 恒溫區(qū)長度；80mm

 工作溫度：1100℃
 溫度：1200℃
 控溫方式：模糊PID控制和自整定調(diào)節(jié)，智能化30段可編程控制，具有超溫和斷偶報(bào)警功能
 控溫精度；±1℃

 推薦升溫速度：20℃/min

 升溫速度：≤100℃/min

 爐門結(jié)構(gòu)：開啟式
 工作電源：AC 208-240V Single Phase，50/60 Hz

 額定功率：2KW

 外型尺寸：350×290×345 mm

 標(biāo)準(zhǔn)配件：石英管1根，不銹鋼密封法蘭1套，硅膠密封圈2套，氧化鋁管堵4只，高溫手套1副，坩堝鉤1支，小保險(xiǎn)1個(gè)。

 密封系統(tǒng)：爐管兩端配有不銹鋼密封法蘭（包括精密針閥，指針式真空壓力表和軟管式寶塔嘴接頭），端口可按實(shí)際使用擴(kuò)展。

氣路系統(tǒng)參數(shù)

 質(zhì)量流量計(jì)參考量程（N₂)：100sccm、200sccm、500sccm、1000sccm （量程可選）

 準(zhǔn)確度：±1.5%

 線性：±0.5～1.5%

 重復(fù)精度：±0.2%

 響應(yīng)時(shí)間：≤10sec

 工作壓差范圍：0.1～0.5 MPa

 壓力：3MPa

 接口：Φ6,1/4''

 顯示：4位數(shù)字顯示

 工作環(huán)境溫度：5~45高純氣體

 內(nèi)外雙拋不銹鋼管：Φ6

 壓力真空表；－0.1～0.15 MPa, 0.01 MPa/格

 截止閥：Φ6

 連接頭類型：雙卡套不銹鋼接頭。

 備注：可選配一路、兩路、三路、四路等以上質(zhì)量流量計(jì)。

低真空系統(tǒng)參數(shù)

 抽速：10m³/h

 極限真空度：5*10^-1pa

 電源：220v 50hz

 電機(jī)功率：0.4kw  

 進(jìn)排氣連接口：KF25

 用油量：1.1L

 電機(jī)轉(zhuǎn)速：1440rpm

 工作環(huán)境溫度：5-40℃

 噪音：≤56db

 電阻真空計(jì)參數(shù)：

 1.配用規(guī)管： 電阻規(guī)，

 2.測量范圍： 10 ⁵ ～10 ^-1 Pa，

 3.測量路數(shù)： 1路

 4.控制范圍： 5×10³ ～5×10 ^-1 Pa，

 5.控制方式：繼電器觸點(diǎn)輸出，負(fù)載能力 AC220V/3A (或DC28V/3A)無感負(fù)載，

 6.電源： 90-260V/50Hz或220V ± 10% 50Hz，

 7.功耗： 20W