當前位置：安徽貝意克設備技術有限公司>>多溫區(qū)CVD系統(tǒng)>> 雙溫區(qū)磁力拉桿設備（固態(tài)源、氣態(tài)源、多源）BTF-1200C-II-SL
| 參 考 價 | 面議 |
產(chǎn)品型號
品 牌
廠商性質經(jīng)銷商
所 在 地合肥市
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更新時間：2023-11-12 12:44:05瀏覽次數(shù)：105次
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此設備具有兩個獨立的溫場，溫場之外配有磁力拉桿和石英料舟，并配有內探熱電偶，可實現(xiàn)在實驗過程中將固態(tài)源(如硫粉、硒粉等)推進熱場，并同時可檢測溫度。
技術參數(shù)
| BTF-1200C-II-SL | |
| 溫場 | 兩個獨立溫場 |
| 溫度 | 1200℃ |
| 工作溫度 | 1100℃ |
| 推薦升溫速率 | 10℃/min |
| 爐管 | 高純度石英管Φ50x1400mm（可根據(jù)要求設計） |
| 加熱區(qū)長度 | 200+200mm |
| 恒溫區(qū)長度 | 200mm |
| 控溫方式 | 模糊PID控制和自整定調節(jié)，智能化30段可編程控制，具有超溫和斷偶報警功能 |
| 供氣系統(tǒng) | |
| 外形尺寸 | 600x600x650mm |
| 連接頭類型 | 雙卡套不銹鋼接頭 |
| 標準量程（N2) | 100sccm、200sccm、500sccm； （可根據(jù)用戶要求定制）;準確度：±1.5%;線性：±0.5～1.5%;重復精度：±0.2% |
| 響應時間 | 氣特性：1～4 Sec，電特性：10 Sec |
| 工作壓差范圍 | 0.1～0.5 MPa |
| 壓力 | 3MPa |
| 接口 | Φ6,1/4'' |
| 顯示 | 4位數(shù)字顯示 |
| 工作環(huán)境溫度 | 5~45高純氣體 |
| 內外雙拋不銹鋼管 | Φ6 |
| 壓力真空表 | －0.1～0.15 MPa, 0.01 MPa/格 |
| 截止閥 | Φ6 |
| 真空機組 | |
| 空氣相對濕度 | ≤85% |
| 工作電壓 | 220V±10% 50~60HZ |
| 功率 | 1千瓦 |
| 抽氣速率 | 10m3/H |
| 極限真空 | 4X10-2Pa |
| 實驗真空度 | 1.0X10-1Pa |
| 容油量 | 1.1L |
| 進氣口口徑 | KF25 |
| 排氣口口徑 | KF25 |
| 轉速 | 1450rpm |
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