三獨立智能型滑軌PECVD PECVD-III-500A-SSSL-安徽貝意克設備技術有限公司

產品簡介：本設備主要針對實驗和中試石墨烯生長和制備使用，同時該設備可以用于碳納米管的生長?？芍苽涑龈哔|量的透明導電膜,用作手機觸摸屏,平板電腦,智能穿戴,傳感器等領域。

BTF-1200C-PECVD高溫真空爐加熱腔體采用氧化鋁纖維制品，其極低的熱導率和比熱容，保證了爐膛的快速升溫和低蓄熱，特別適合于科研單位的材料工藝研究。加熱元件選用電阻絲加熱，有利于爐內溫度場的均勻分布。高溫真空電阻爐溫度控制系統(tǒng)采用經(jīng)典的閉環(huán)負反饋控制系統(tǒng)，控溫儀表選用智能型程序溫度調節(jié)儀表控溫，電力調制器控制；負載采用小電壓大電流控制，從而大大提高了發(fā)熱元件的壽命，測溫元件采用K型熱偶。采用單回路溫控儀能夠自整定PID 參數(shù)，無須操作人員的干預，可自行根據(jù)不同溫度曲線的升、降溫要求調整輸出信號，同時系統(tǒng)設置了超溫、欠溫、斷偶報警保護功能，大大降低了對操作人員經(jīng)驗的要求，關鍵電氣元件采用優(yōu)質的進口產品，做到高性能、免維護，提高了設備質量的可靠性。

溫度	1200℃
使用溫度	≤1100℃
爐膛有效尺寸	Φ100mm（適用于2-3英寸樣品，爐管直徑可根據(jù)實際需要定制。）
爐膛材料	氧化鋁、高溫纖維制品
熱電偶類型	K型熱電偶
控溫精度	±1℃
控溫方式	30段可編程控溫，PID參數(shù)自整定，操作界面為7"工控電腦，內置PLC控制程序。
加熱長度	230+230+230mm
恒溫長度	100+100+100mm
加熱原件	電阻絲
供電電源	單相，220V，50Hz

2、PE射頻電源

功率輸出范圍	0W~500W
反射功率	100W
射頻輸出接口	50 Ω, N-type, female
功率穩(wěn)定度	≤5W
諧波分量	≤-50dbc
供電電壓	單相交流（187V-253V）頻率50/60HZ
整機效率	>=70%
功率因素	>=90%
冷卻方式	強制風冷

3、三路質子流量控制系統(tǒng)

連接頭類型	雙卡套不銹鋼接頭
標準量程（N₂)	50sccm，100sccm、500sccm （可根據(jù)用戶要求定制）
準確度	±1.5%F.S
線性	±1%F.S
重復精度	±0.2%F.S
響應時間	氣特性：1～4 Sec，電特性：10 Sec
工作壓差范圍	0.1～0.5 MPa
壓力	3MPa
接口	Φ6,1/4''
顯示	4位數(shù)字顯示
工作環(huán)境溫度	5~45高純氣體
壓力真空表	－0.1～0.15 MPa, 0.01 MPa/格
截止閥	Φ6
內外雙拋不銹鋼管	Φ6

4、低真空機組

空氣相對濕度	≤85%
工作環(huán)境	5℃～40℃
工作電電壓	220V±10% 50~60HZ
功率	1KW
抽氣速率	10m3/h
極限真空	5X10-1Pa
工作壓力范圍	1.01325X105～1.33X10-2Pa
耐壓值	0.03MPa
容油量	1.1L
進氣口口徑	KF25
排氣口口徑	KF25
噪音	50dB
連接方式	采用波紋管，手動擋板閥與波紋管相連