環(huán)境溫度

5-32℃

空氣相對(duì)濕度

≤85%

工作電壓

AC220V±10% 50/60Hz

功率

1KW

系統(tǒng)整體極限真空度

5.0*10-5pa

實(shí)驗(yàn)真空度

5.0*10-3pa

外形尺寸

600*600*650mm

主要配置

技術(shù)參數(shù)

機(jī)械泵

抽氣速率：4L/S

容油量：1.1L

電機(jī)功率：400W

極限壓強(qiáng)：6×10^-2Pa

分子泵

抽氣速率：100L/S

極限壓強(qiáng)：6×10^-6Pa

啟動(dòng)時(shí)間：＜2min

額定轉(zhuǎn)速：4300轉(zhuǎn)/分

冷卻方式：環(huán)境溫度5-32℃時(shí)，風(fēng)冷；5-40℃時(shí)，水冷。

分子泵控制器

電壓：220V±22V

啟動(dòng)電流：≤7A

輸入頻率：47HZ—63HZ

輸出功率：≤150W

加速電壓：≤40V

加速時(shí)間：≤3min

頻率（雙速）：高速705HZ±10HZ

                     低速430HZ±5HZ

復(fù)合真空計(jì)

測(cè)量路數(shù)：2路（電阻規(guī)、電離規(guī)各1路）

工作模式：手動(dòng)/自動(dòng)

電阻單元參數(shù)

測(cè)量范圍：1.0×10⁵Pa~1.0×10^-1Pa

有效范圍：2.5×10³Pa~5.0×10^-1Pa

控制范圍：2.5×10^>3Pa~5.0×10^-1Pa

電離單元參數(shù)

可測(cè)范圍：5.0Pa~1.0×10^-5Pa

有效范圍：1.0Pa~5.0×10^-5Pa

控制范圍：1.0Pa~5.0×10^-5Pa

規(guī)管除氣方式：焦耳去氣

其他參數(shù)

控制路數(shù)：4

控制方式：點(diǎn)動(dòng)或區(qū)域控制/帶掉電記憶

控制精度：±1%

采樣時(shí)間：1S

電源：220V±10% 50HZ

功耗：50W

使用環(huán)境溫度：0℃~45℃

濕度：≤85%

連接管路

采用全不銹鋼，電拋光制作，零件焊接漏率優(yōu)于1.0×10^-9Pa.m³/s