微型PECVD系統(tǒng)-安徽貝意克設(shè)備技術(shù)有限公司

　　細節(jié)展示


整機工作情況	整個管子輝光情況	高真空下輝光情況

　　PECVD 系統(tǒng)

　　微型PECVD系統(tǒng)，它包括小型真空管式爐，石英真空室、真空抽氣與真空測量系統(tǒng)、氣路系統(tǒng)、射頻電源系統(tǒng)、物料噴射系統(tǒng)。電源范圍寬：0-150W可調(diào); 溫度范圍寬：100-1200度可調(diào);濺射區(qū)域?qū)挘?-600mm可調(diào);適用范圍寬:金屬薄膜，陶瓷薄膜等，復合薄膜，連續(xù)生長各種薄膜等。增加功能容易，可擴展等離子清洗刻蝕等功能。

　　主要特點

　　1. 薄膜沉積速率高：采用了甚高頻技術(shù)，大大的提高了薄膜的沉積速率，沉積速率可達10Å/S;

　　2. 大面積均勻性高：采用了*的多點射頻饋入技術(shù)，特殊氣路分布和加熱技術(shù)等，使得薄膜均勻性指標達到8%;

　　3. 一致性高：用半導體行業(yè)的*設(shè)計理念，使得一次沉積的各基片之間偏差低于2%;

　　4. 工藝穩(wěn)定性高：高度穩(wěn)定的設(shè)備保證了工藝的連續(xù)和穩(wěn)定;

　　5. 選配物料噴射系統(tǒng)，可將原料直接噴射到反應(yīng)區(qū);

　　6.號：ZL.0 (產(chǎn)品，防偽必究)。

1.加熱系統(tǒng)

溫度	1200℃
使用溫度	≤1100℃
爐膛有效尺寸	Φ80mm（適用于2-3英寸樣品，爐管直徑可根據(jù)實際需要定制。）
爐膛材料	氧化鋁、高溫纖維制品
熱電偶類型	K型熱電偶
控溫精度	±1℃
控溫方式	30段可編程控溫，PID參數(shù)自整定
加熱長度	230mm
加熱原件	電阻絲
供電電源	單相，220V，50Hz

2、PE系統(tǒng)

功率輸出范圍	0W~150W
射頻輸出接口	50 Ω, N-type, female
功率穩(wěn)定度	≤5W
諧波分量	≤-50dbc
供電電壓	單相交流（187V-253V）頻率50/60HZ
整機效率	>=70%
功率因素	>=90%
冷卻方式	強制風冷

3、三路質(zhì)子流量控制系統(tǒng)

連接頭類型	雙卡套不銹鋼接頭
標準量程（N₂)	200sccm，500sccm、1000sccm （可根據(jù)用戶要求定制）
準確度	±1.5%F.S
線性	±1%F.S
重復精度	±0.2%F.S
響應(yīng)時間	氣特性：1～4 Sec，電特性：10 Sec
工作壓差范圍	0.1～0.5 MPa
壓力	3MPa
接口	Φ6,1/4''
顯示	4位數(shù)字顯示
工作環(huán)境溫度	5~45高純氣體
壓力真空表	－0.1～0.15 MPa, 0.01 MPa/格
截止閥	Φ6
內(nèi)外雙拋不銹鋼管	Φ6

4、低真空機組

空氣相對濕度	≤85%
工作環(huán)境	5℃～40℃
工作電電壓	220V±10% 50~60HZ
功率	1KW
抽氣速率	10m³/h
極限真空	5X10-1Pa
工作壓力范圍	1.01325X105～1.33X10-2Pa
耐壓值	0.03MPa
容油量	1.1L
進氣口口徑	KF25
排氣口口徑	KF25
噪音	50dB
連接方式	采用波紋管，手動擋板閥與波紋管相連