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磁力拉桿式硫化鉬制備CVD設(shè)備

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具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)

產(chǎn)品型號(hào)

品       牌

廠商性質(zhì)經(jīng)銷商

所  在  地合肥市

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更新時(shí)間：2023-05-16 07:41:49瀏覽次數(shù)：85次

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主要特點(diǎn)　　此設(shè)備特點(diǎn)是將硫粉放于左端冷區(qū)，當(dāng)硫化過程開始時(shí)利用拉桿式將硫粉推進(jìn)熱場(chǎng)

　　主要特點(diǎn)

　　此設(shè)備特點(diǎn)是將硫粉放于左端冷區(qū)，當(dāng)硫化過程開始時(shí)利用拉桿式將硫粉推進(jìn)熱場(chǎng)?？刂齐娐愤x用模糊PID程控技術(shù)，具有控溫精度高，溫沖幅度小，性能可靠，簡(jiǎn)單易操作。同樣也適用于CVD工藝，如碳化硅鍍膜、陶瓷基片導(dǎo)電率測(cè)試、ZnO納米結(jié)構(gòu)的可控生長(zhǎng)、陶瓷電容(MLCC)氣氛燒結(jié)等實(shí)驗(yàn)。

 

　　技術(shù)參數(shù)

拉桿式硫化鉬制備設(shè)備
爐管尺寸：
外徑Φ25/50/60/80/100*1000mm（可選）
極限溫度：
1200℃
工作溫度：
≤1100 ℃
溫度控制器：
PID自動(dòng)控制晶閘管（可控硅）輸出功率， 30段可編程控制器
升溫速率：
≤50℃/min
加熱區(qū)：
200+200mm
恒溫區(qū)：
100+100mm
控溫精度：
±1 ℃
電源：
單相220V，交流50Hz
3路質(zhì)量流量供氣系統(tǒng)
（觸摸屏控制）
拉桿式硫化鉬制備設(shè)備
電壓：
185~245V/50Hz
輸出功率：
18W
流量計(jì)標(biāo)準(zhǔn)量程：
100 ，200，500SCCM
（非特殊以氮?dú)鈽?biāo)定，量程可選定）
工作溫度：
5~45 oC
工作壓差：
0.1～0.5 MPa
壓力：
3MPa
準(zhǔn)確度：
±1.5% FS 
低真空系統(tǒng)
拉桿式硫化鉬制備設(shè)備
抽速：
8.11 m3/h
極限總壓：
3×10-3 mabr
進(jìn)排氣口：
DN 25 KF
噪音
（氣鎮(zhèn)開關(guān)時(shí)，距離1米處測(cè)量）
54 dB
注油量：
0.7- 1.1 L
重量：
21 Kg
工作溫度：
10~40 ℃
功率：
550W

 

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