早在1738年，瑞士*尼爾伯努利以伯努利方程為基礎(chǔ)利用差壓法測(cè)量水流量。后來(lái)意大利人G.B.文丘里研究用文丘里管測(cè)量流量，并于1791年發(fā)表了研究結(jié)果。1886年，美國(guó)人C.赫謝爾用文丘里管制成測(cè)量水流量的實(shí)用裝置20世紀(jì)初期到中期,原有的測(cè)量原理逐漸成熟,人們開(kāi)始探索新的測(cè)量原理自1910年起美國(guó)開(kāi)始研制測(cè)量明溝中水流量的槽式流量計(jì)。1922年，R.L.帕歇爾將原文丘里水槽改革為帕歇爾水槽(于1929年為美國(guó)土木工程師協(xié)會(huì)所命名)。1911～1912年,美籍匈牙利人 T.von卡門提出卡門渦街的新理論。30年代出現(xiàn)探討用聲波測(cè)量液體和氣體的流速的方法，但到第二次世界大戰(zhàn)為止未獲很大進(jìn)展，直到1955年才有應(yīng)用聲循環(huán)法(兩組型)的馬克森流量計(jì)，用于測(cè)量航空燃料的流量。1945年，A.科林用交變磁場(chǎng)成功地測(cè)量了血液流動(dòng)的情況。60年代以后，儀表向精密化、小型化等方向發(fā)展。例如，為了提高差壓儀表的度而出現(xiàn)力平衡差壓變送器和電容式差壓變送器;為使電磁流量計(jì)的傳感器小型化和改善信噪比而出現(xiàn)用非均勻磁場(chǎng)和低頻勵(lì)磁方式的電磁流量計(jì)。隨著集成電路技術(shù)的迅速發(fā)展，具有鎖相環(huán)路技術(shù)的超聲(波)流量計(jì)也得到了普遍應(yīng)用。微型計(jì)算機(jī)的廣泛應(yīng)用，進(jìn)一步提高了流量測(cè)量的能力，如激光多普勒流速計(jì)應(yīng)用微型計(jì)算機(jī)可處理較為復(fù)雜的信號(hào)。

　　美國(guó)早在1886年即發(fā)布過(guò)個(gè)TU，1914年的認(rèn)為TUF的流量與頻率有關(guān)。美國(guó)的臺(tái)TUF是在1938年開(kāi)發(fā)的，它用于飛機(jī)上燃油的流量測(cè)量，只是直至二戰(zhàn)后因噴氣發(fā)動(dòng)機(jī)和液體噴氣燃料急需一種高精度、快速響應(yīng)的流量計(jì)才使它獲得真正的工業(yè)應(yīng)用。如今，它已在石油、化工、科研、國(guó)防、計(jì)量各部門中獲得廣泛應(yīng)用。

　　流量測(cè)量早是由瑞士人開(kāi)始的，在1738年，瑞士的物理學(xué)家丹尼爾·伯努利以伯努利方程為基礎(chǔ)，利用了差壓法測(cè)量了水流量。

　　后來(lái)，意大利物理學(xué)家文丘里又用文丘里管測(cè)量了流量，并發(fā)表了研究成果。

　　1886年，美國(guó)人赫謝爾應(yīng)用文丘里管制成了測(cè)量水流量的的實(shí)用測(cè)量裝置。

　　20世紀(jì)初期到中期，原有的測(cè)量原理逐漸走向成熟，人們不再將思路局限在原有的測(cè)量方法上，而是開(kāi)始了新的探索。1910年時(shí)，美國(guó)人開(kāi)始了槽式流量計(jì)的研究工作，這種流量計(jì)是用來(lái)測(cè)量明溝中水流量的。1922年，帕歇爾將水槽測(cè)量改革為帕歇爾水槽。

　　槽式流量計(jì)發(fā)展的同時(shí)，美籍匈牙利人卡門正在研究渦街理論，1911年到1912年，他提出了卡門渦街新理論。

　　到了30年代，又出現(xiàn)了探討用聲波測(cè)量液體和氣體的流速的方法聲波測(cè)量流量的方法，但到第二次世界大戰(zhàn)為止未獲得很大進(jìn)展，直到1955才有了應(yīng)用聲循環(huán)法的馬克森流量計(jì)的問(wèn)世，用于測(cè)量航空燃料的流量。

　　1945年，科林用交變磁場(chǎng)成功的測(cè)量了血液流動(dòng)的情況。

　　20世紀(jì)的60年代以后，測(cè)量?jī)x表開(kāi)始向精密化、小型化等方向發(fā)展。例如，為了提高了差壓儀表的度，出現(xiàn)了力平衡差壓變送器和電容式差壓變送器;為了使電磁流量計(jì)的傳感小型化和改善信噪比，出現(xiàn)了用非均勻磁場(chǎng)和低頻勵(lì)磁方式的電磁流量計(jì)，此外，具有寬測(cè)量范圍和無(wú)活動(dòng)檢測(cè)部件的實(shí)用卡門渦街流量計(jì)，也在70年代問(wèn)世。

　　隨著集成電路技術(shù)的迅速發(fā)展，具有鎖相環(huán)路技術(shù)的超聲(波)流量計(jì)也得到了普遍應(yīng)用，微型計(jì)算機(jī)的廣泛應(yīng)用，進(jìn)一步提高了流量測(cè)量的能力，如激光多普勒流速計(jì)應(yīng)用微型計(jì)算機(jī)后，可處理較為復(fù)雜的信號(hào)。