【儀表網(wǎng) 儀表上游】導(dǎo)讀：6月30日，由國家智能傳感器創(chuàng)新中心(簡稱“創(chuàng)新中心”)建設(shè)的國內(nèi)首條12英寸先進(jìn)傳感器中試線成功通線。
 

　　傳感器是一種檢測裝置，能感受到被測量的信息，并能將感受到的信息，按一定規(guī)律變換成為電信號或其他所需形式的信息輸出，以滿足信息的傳輸、處理、存儲、顯示、記錄和控制等要求。
 

　　在信息時代，傳感器作為海量數(shù)據(jù)接收和傳遞信息的入口，是萬物互聯(lián)的重要基礎(chǔ)，同時隨著近年來物聯(lián)網(wǎng)的迅速發(fā)展，全球進(jìn)入智能時代，智能傳感器在移動終端、智能硬件、智能制造、汽車電子、消費電子等領(lǐng)域具有廣闊的應(yīng)用前景。
 

　　據(jù)悉，國家智能傳感器創(chuàng)新中心，在工業(yè)和信息化部的指導(dǎo)下，于2018年6月成立，致力于先進(jìn)傳感器技術(shù)創(chuàng)新，以關(guān)鍵共性技術(shù)的研發(fā)和中試為目標(biāo)，聯(lián)合傳感器上下游及產(chǎn)業(yè)鏈企業(yè)開展共性技術(shù)研發(fā)，專注傳感器設(shè)計集成技術(shù)、先進(jìn)制造及封測工藝，布局傳感器新材料、新工藝、新器件和物聯(lián)網(wǎng)應(yīng)用方案等領(lǐng)域，形成“產(chǎn)學(xué)研用”協(xié)同創(chuàng)新機(jī)制，打造智能傳感器創(chuàng)新中心。
 

　　創(chuàng)新中心已建成智能傳感器公共服務(wù)平臺，測試服務(wù)能力主要包括MEMS加速度、MEMS陀螺儀、壓力和紅外等傳感器的測試標(biāo)定、可靠性測試、ESD測試、產(chǎn)品失效分析、器件工藝分析等多方面功能。其中，測試標(biāo)定服務(wù)以面向消費級和汽車級芯片為主，已引進(jìn)設(shè)備包括加速度/陀螺儀和壓力傳感器測試標(biāo)定系統(tǒng)、高低溫環(huán)境類試驗箱、示波器、分析儀、信號發(fā)生器等檢測設(shè)備。
 

　　6月30日，由國家智能傳感器創(chuàng)新中心(簡稱“創(chuàng)新中心”)建設(shè)的國內(nèi)首條12英寸先進(jìn)傳感器中試線成功通線。該中試線以國產(chǎn)設(shè)備為主，具備晶圓鍵合、晶圓減薄、干濕法刻蝕、物理和化學(xué)氣相沉積、原子層沉積、化學(xué)機(jī)械研磨、濕法清洗、自動化量測等先進(jìn)傳感器和晶圓級3D集成技術(shù)的核心工藝能力，同時為國產(chǎn)裝備提供驗證平臺，加速先進(jìn)傳感器產(chǎn)業(yè)鏈國產(chǎn)化，實現(xiàn)自主可控。
 

　　面向新興技術(shù)發(fā)展和市場應(yīng)用需求，創(chuàng)新中心將在12英寸中試線持續(xù)開發(fā)新材料、新工藝、新器件和新集成等關(guān)鍵共性技術(shù)，重點突破光學(xué)、聲學(xué)、力學(xué)、生物等先進(jìn)傳感器的核心工藝，并推動相關(guān)產(chǎn)品及應(yīng)用的產(chǎn)業(yè)化。
 

　　12英寸中試線位于上海智能傳感器產(chǎn)業(yè)園內(nèi)，產(chǎn)業(yè)園以智能傳感器為核心，以創(chuàng)新平臺和企業(yè)為支撐，伴有精準(zhǔn)的政策助力，發(fā)展傳感器特色工藝，積極培育和引進(jìn)領(lǐng)先的智能傳感器產(chǎn)業(yè)鏈企業(yè)，促進(jìn)產(chǎn)業(yè)集聚和協(xié)同發(fā)展，力爭將上海嘉定打造成國內(nèi)傳感器領(lǐng)域產(chǎn)業(yè)高地。