【儀表網(wǎng) 行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)】中國質(zhì)量檢驗協(xié)會批準(zhǔn)立項和組織制定的《金剛石制備 微波等離子體化學(xué)氣相沉積設(shè)備》團(tuán)體標(biāo)準(zhǔn)，已組織參編單位和相關(guān)專家進(jìn)行多次討論和修改，并據(jù)此形成上述團(tuán)體標(biāo)準(zhǔn)征求意見稿。按照《中國質(zhì)量檢驗協(xié)會團(tuán)體標(biāo)準(zhǔn)管理辦法》的相關(guān)規(guī)定和要求，現(xiàn)對上述團(tuán)體標(biāo)準(zhǔn)制定公開征求意見，意見反饋郵箱：zhubaocgc@c315.cn，截止時間2023年10月26日前。
 

　　本文件按照GB/T 1.1—2020《標(biāo)準(zhǔn)化工作導(dǎo)則 第1部分：標(biāo)準(zhǔn)化文件的結(jié)構(gòu)和起草規(guī)則》的規(guī)定起草。
 

　　本文件規(guī)定了用于制備金剛石的微波等離子體化學(xué)氣相沉積設(shè)備的術(shù)語和定義、縮略語、設(shè)備原理及分類、一般要求、設(shè)計要求、安全性要求、運行要求、安全聯(lián)鎖、技術(shù)參數(shù)、檢驗及測試、檢驗規(guī)則、標(biāo)志和包裝等。
 

　　本文件適用于金剛石制備用途的微波模式為單模、多模的微波等離子體化學(xué)氣相沉積設(shè)備。
 

　　設(shè)備原理：
 

　　設(shè)備由微波源產(chǎn)生微波，經(jīng)波導(dǎo)管傳輸至微波模式轉(zhuǎn)換器，微波模式轉(zhuǎn)換后，微波進(jìn)入諧振腔內(nèi)形成強(qiáng)電場區(qū)域，將輸入諧振腔內(nèi)的反應(yīng)氣體在強(qiáng)電場作用下，激發(fā)成等離子體產(chǎn)生化學(xué)反應(yīng)，沉積金剛石膜。
 

　　分類：
 

　　MPCVD設(shè)備根據(jù)諧振腔內(nèi)微波模式，可分為：單模、多模兩種類型，兩種微波模式激發(fā)等離子體產(chǎn)生化學(xué)反應(yīng)沉積金剛石膜的原理一致。設(shè)備結(jié)構(gòu)根據(jù)微波饋入方式、腔內(nèi)微波模式、等離子體狀態(tài)、材料制備等，要求不同結(jié)構(gòu)不同，其具體結(jié)構(gòu)由各廠家自行規(guī)定。
 

　　使用安全要求：
 

　　由于MPCVD設(shè)備的沉積工藝中可能使用易燃、易爆或有毒的氣體，為了保證設(shè)備安全與人身安全，特提出以下要求:
 

　　a) 設(shè)備運行環(huán)境中應(yīng)配有相應(yīng)的易燃、易爆氣體監(jiān)測設(shè)備。
 

　　b) MPCVD 設(shè)備真空系統(tǒng)、微波系統(tǒng)、氣體管道、連接機(jī)構(gòu)、安全聯(lián)鎖裝置、氣瓶柜等關(guān)鍵部件，都應(yīng)安全可靠工作,如有裝置失效或功能異常時禁止開機(jī)使用。
 

　　c) 設(shè)備安裝后應(yīng)進(jìn)行氣體泄漏測試，保證運行設(shè)備無泄漏。
 

　　d) MPCVD 設(shè)備的氣密性、極限真空度未達(dá)到本文件規(guī)定的技術(shù)要求時，應(yīng)排除漏點，使設(shè)備滿足要求后開機(jī)使用。
 

　　e) 應(yīng)定期檢查設(shè)備微波泄漏功率密度是否符合要求。
 

　　f) 當(dāng)采用氧氣作為催化劑時，應(yīng)確認(rèn)其混合氣體的比例在安全范圍內(nèi)，防止爆炸。
 

　　g) 氣體管路安裝的密閉柜體應(yīng)有內(nèi)徑Ф≥40mm 的排氣端口，防止可燃?xì)怏w累積導(dǎo)致爆炸。
 

　　h) 設(shè)備應(yīng)有固定裝置，防止地震或其他意外情況時設(shè)備傾倒。
 

　　i) 設(shè)備運行環(huán)境應(yīng)有良好的廢氣排放措施，場所排廢通道內(nèi)徑Ф≥50mm，如反應(yīng)氣體為有毒有害的危險氣體，或反應(yīng)生成物中含有有毒有害物質(zhì)，需加裝報警裝置和尾氣處理裝置與設(shè)備配套使用。
 

　　試驗儀器：
 

　　試驗設(shè)備、工具，應(yīng)經(jīng)專業(yè)計量機(jī)構(gòu)檢定，并在檢定合格有效期內(nèi)，具體包括：
 

　　a) 三坐標(biāo)測量儀；
 

　　b) 高度計；
 

　　c) 千分尺；
 

　　d) 卡尺；
 

　　e) 扭力儀；
 

　　f) 水平儀；
 

　　g) 數(shù)字視頻顯微鏡；
 

　　h) 氦質(zhì)譜檢漏儀；
 

　　i) 紅外測溫儀；
 

　　j) 兆歐表；
 

　　k) 接地電阻測試儀；
 

　　l) 耐壓測試儀；
 

　　m) 泄漏電流測試儀；
 

　　n) 電子天平(分度值0.1mg)；
 

　　o) 微波漏能儀(分度值0.01mw/cm2)；
 

　　p) 真空計(分度值0.1pa)；
 

　　q) 氣壓表(分度值0.05Mpa)。
 

　　型式檢驗：
 

　　1.有下列情況之一時，應(yīng)進(jìn)行型式檢驗：
 

　　a) 新產(chǎn)品設(shè)計定型時；
 

　　b) 結(jié)構(gòu)、工藝、原材料有重大變化(4M變更)，影響設(shè)備關(guān)鍵性能時；
 

　　c) 國家法律法規(guī)或合同要求時；
 

　　d) 正常生產(chǎn)滿2年(含)時，后續(xù)每2年(或累積生產(chǎn)一定產(chǎn)量)，應(yīng)周期性進(jìn)行型式檢驗。
 

　　e) 設(shè)計定型的設(shè)備停產(chǎn)1年后，恢復(fù)生產(chǎn)時；
 

　　2. 型式檢驗應(yīng)從準(zhǔn)備交付的檢驗合格設(shè)備中，隨機(jī)抽取一臺進(jìn)行測試。
 

　　3.型式檢驗項目應(yīng)為本文件中全部項目。
 

　　更多詳情請見附件。